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儀器網(wǎng) 會(huì)議新聞】4月22日，由中國(guó)科協(xié)新技術(shù)開發(fā)中心、中國(guó)國(guó)際光電博覽會(huì)組委會(huì)、深圳市光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)主辦的
2024中國(guó)(成都)國(guó)際精密光學(xué)暨機(jī)器視覺技術(shù)應(yīng)用大會(huì)在成都環(huán)球中心天堂洲際大飯店開幕。
大會(huì)共計(jì)兩天，今日會(huì)議包含“賦能新業(yè)態(tài)，超精微納光學(xué)技術(shù)創(chuàng)造無限可能”、“納米壓印光刻的今天和明天—看微納制造技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化” 兩個(gè)專題。
專題一：賦能新業(yè)態(tài)，超精微納光學(xué)技術(shù)創(chuàng)造無限可能
上午場(chǎng)會(huì)議出席嘉賓包括中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所特聘研究員，中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)光學(xué)制造專委會(huì)范斌秘書長(zhǎng)、中山大學(xué)物理學(xué)院副院長(zhǎng) 董建文教授、以及與光科技、新思科技、匕令科技等知名企業(yè)高層。聚焦微納光學(xué)前沿技術(shù)領(lǐng)域，深度探討超表面及多維光場(chǎng)調(diào)控、納米壓印超透鏡陣列、超表面產(chǎn)業(yè)化的實(shí)踐與探索、芯片化
光譜成像技術(shù)等前沿?zé)衢T話題。
專題二：“納米壓印光刻的今天和明天”—看微納制造技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化
下午的會(huì)議邀請(qǐng)到湖南大學(xué)粵港澳大灣區(qū)創(chuàng)新研究院院長(zhǎng) 段輝高教授、香港理工大學(xué)工業(yè)及系統(tǒng)工程學(xué)系/超精密加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 王文奎博士以及天仁微納、光舵微納、EULITHA、貝瑞光電等知名企業(yè)高層，探討極端微納制造、納米壓印光刻、位移泰伯光刻技術(shù)、超光滑拋光技術(shù)等熱門話題。
活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)
到場(chǎng)的參會(huì)觀眾，包括微納元器件廠商、超精密加工設(shè)備廠商、半導(dǎo)體材料/加工設(shè)備廠商、機(jī)器視覺廠商、鏡頭模組廠商、以及光學(xué)應(yīng)用終端企業(yè)等等。
與此同時(shí)，會(huì)場(chǎng)周圍設(shè)置展覽展示區(qū)，共有100多家企業(yè)/品牌展出產(chǎn)品。展品范圍覆蓋：
新型微納元器件、超精密加工設(shè)備、半導(dǎo)體加工設(shè)備、工業(yè)相機(jī)、機(jī)器視覺檢測(cè)系統(tǒng)及設(shè)備、光學(xué)成像測(cè)試測(cè)量?jī)x器、光學(xué)鏡頭及攝像模組、光學(xué)鍍膜材料及設(shè)備等，多角度展示精密光學(xué)上下游新產(chǎn)品新技術(shù)。
現(xiàn)場(chǎng)特設(shè)展示區(qū)
專題一：賦能新業(yè)態(tài)，超精微納光學(xué)技術(shù)創(chuàng)造無限可能
嘉賓分享
主辦方歡迎致辭
楊耕碩 Eric Yang
中國(guó)國(guó)際光電博覽會(huì)(CIOE)秘書長(zhǎng)
中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì) 常務(wù)理事
楊總表示：“CIOE中國(guó)光博會(huì)作為始終深耕光電行業(yè)，助推國(guó)家光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展的專業(yè)平臺(tái)，我們希望能夠充分發(fā)揮中國(guó)光博會(huì)在光電產(chǎn)業(yè)中的平臺(tái)和紐帶作用，增強(qiáng)光電行業(yè)互動(dòng)，進(jìn)一步促進(jìn)精密光學(xué)及機(jī)器視覺產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展及其應(yīng)用領(lǐng)域的融合。共同努力，實(shí)現(xiàn)行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵性突破！“
“微波光子學(xué)、生物光子學(xué)、納米光子學(xué)和拓?fù)涔庾訉W(xué)是幾個(gè)典型的微納光學(xué)的前沿領(lǐng)域，這些領(lǐng)域的研究成果，不僅推動(dòng)了微納光學(xué)的發(fā)展，也為其他相關(guān)領(lǐng)域的研究提供了新的思路和方法。微納加工技術(shù)作為衡量國(guó)家高端制造業(yè)水平的重要標(biāo)志之一，面對(duì)未來世界發(fā)展的舞臺(tái)，進(jìn)一步提升微納技術(shù)的發(fā)展速度已迫在眉睫。
機(jī)器視覺技術(shù)使得工作設(shè)備能夠“看到”它正在進(jìn)行的操作，并進(jìn)行快速的決策，機(jī)器視覺與人工智能逐漸融合，引領(lǐng)工業(yè)4.0的過渡，擁有著不可估量的市場(chǎng)前景。“
成都市博覽局致辭
高敏
成都市博覽局 副局長(zhǎng)
高敏副局長(zhǎng)表示：“近年來，成都依托中科院光電技術(shù)研究所等豐富的科研資源和優(yōu)秀的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，大力發(fā)展光電產(chǎn)業(yè)，取得了顯著的成果。目前，成都已經(jīng)聚集了一批優(yōu)質(zhì)的光電產(chǎn)業(yè)企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)，形成了完整的產(chǎn)業(yè)鏈和生態(tài)圈，同時(shí)，成都深入推進(jìn)會(huì)展產(chǎn)業(yè)建圈強(qiáng)鏈，強(qiáng)化會(huì)展與產(chǎn)業(yè)的一體化發(fā)展，賦能企業(yè)，積極為重點(diǎn)企業(yè)、重點(diǎn)行業(yè)搭建展示和合作交流的平臺(tái)，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈向上下游延伸，促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。我們熱忱地期盼更多的企業(yè)家將投資興業(yè)的目光投向成都，到成都產(chǎn)業(yè)區(qū)，企業(yè)內(nèi)去走走看看，感受成都美好的發(fā)展機(jī)遇和無限的可能。”
基于單片衍射元件的成像技術(shù)研究
范斌
中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所 特聘研究員
中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)光學(xué)制造專委會(huì) 秘書長(zhǎng)
范秘書長(zhǎng)重點(diǎn)介紹了基于端到端的消色差諧衍射透鏡設(shè)計(jì)方法。以成像鏈路各環(huán)節(jié)的傳輸和響應(yīng)特性為研究對(duì)象，創(chuàng)新性提出基于衍射元件的光學(xué)—算法協(xié)同設(shè)計(jì)新思路，解決衍射元件色差大、非近軸條件下像差復(fù)雜等困擾問題，擴(kuò)展了衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)與應(yīng)用的新維度。
范秘書長(zhǎng)表示“單片衍射元件的成像具備高科技、高效能和高質(zhì)量的特征。我們希望在機(jī)器視覺未來蓬勃發(fā)展的機(jī)遇下，能夠把這個(gè)技術(shù)進(jìn)一步拓展到偏振光譜、深度和相位等方面。也希望和大家聯(lián)手進(jìn)一步推動(dòng)單片衍射元件成像的技術(shù)發(fā)展，作為新質(zhì)生產(chǎn)力推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。””
芯片化光譜成像技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)和應(yīng)用前景
王宇
北京與光科技有限公司 聯(lián)合創(chuàng)始人/董事長(zhǎng)/首席執(zhí)行官
(會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)由王漢楠女士代為演講)
與光科技的代表從行業(yè)當(dāng)前三大痛點(diǎn)：體積大、價(jià)格高以及成像緩慢出發(fā)，重點(diǎn)介紹了計(jì)算光譜這一技術(shù)路線。計(jì)算光譜將傳統(tǒng)的技術(shù)難點(diǎn)轉(zhuǎn)嫁到算法和算力上，突破傳統(tǒng)成像的技術(shù)限制，從而實(shí)現(xiàn)從不完整的物理測(cè)量中，盡可能多的去恢復(fù)待測(cè)物的信息。計(jì)算重建算法，進(jìn)一步推動(dòng)了基于超表面、量子點(diǎn)、納米線等新型光譜成像技術(shù)涌現(xiàn)。
此外，王總表示“當(dāng)前許多方案都將探測(cè)器陣列直接和CMOS集成。
主要有四個(gè)方面的優(yōu)勢(shì)：一、能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓級(jí)的制備技術(shù)；二、具有較高的集成度，將光子器件和電子器件集成在同一個(gè)硅片上；三、成本上很有優(yōu)勢(shì)；四、也可以復(fù)用現(xiàn)有的CMOS工具來實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)流程的簡(jiǎn)化。”
納米壓印超透鏡陣列用于近眼集成成像光場(chǎng)顯示
董建文
中山大學(xué) 物理學(xué)院 副院長(zhǎng)、教授
報(bào)告以“納米壓印超透鏡陣列用于近眼集成成像光場(chǎng)顯示“為題，分享了團(tuán)隊(duì)在納米壓印超透鏡方面的研究心得。主要介紹了在微納超表面與計(jì)算顯示成像的相關(guān)工作，以及納米壓印以及近眼光場(chǎng)顯示方面的應(yīng)用。
董教授提出：“超表面的光場(chǎng)調(diào)控精度高、光場(chǎng)調(diào)控自由度高，并且完全與現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造工藝兼容，有著其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。而納米壓印能夠滿足大面積的需要。超表面技術(shù)與納米壓印進(jìn)行結(jié)合，能夠往更高精度、更大面積、更低成本的方向發(fā)展。”
從設(shè)計(jì)到半導(dǎo)體制程：全面探索超透鏡創(chuàng)新仿真流程
劉惠卿
新思半導(dǎo)體科技 亞太區(qū)光學(xué)解決方案技術(shù)總監(jiān)
報(bào)告講述了最前沿的超透鏡設(shè)計(jì)方法，以及考量了半導(dǎo)體加工的工作流程。劉總表示：“不同的超透鏡的設(shè)計(jì)工具可以幫助我們?cè)谠O(shè)計(jì)的時(shí)候更容易，進(jìn)入的門檻更低。如果考慮到制造工藝把半導(dǎo)體跟光學(xué)結(jié)合在一起的話，在設(shè)計(jì)初期的時(shí)候就可以考慮到更低制造成本的工藝技術(shù)。而且新思制造意識(shí)的超原子庫(kù)，也可以幫助我們?cè)诘谝淮蔚脑O(shè)計(jì)就達(dá)到正確的目標(biāo)。”
超表面在產(chǎn)業(yè)化的探索和實(shí)踐：紅外已來，未來可見
錢紫衡
上海匕令科技有限公司 產(chǎn)品市場(chǎng)經(jīng)理
報(bào)告以“超表面在產(chǎn)業(yè)化的探索和實(shí)踐：紅外已來，未來可見”為題，從超表面相對(duì)于傳統(tǒng)透鏡，甚至于衍射透鏡的優(yōu)勢(shì)對(duì)比出發(fā)，闡述了Alpha Cen在超表面技術(shù)產(chǎn)業(yè)化所做的努力，以及在近紅外到
可見光波段，在傳感、測(cè)距到成像等領(lǐng)域的應(yīng)用探索。
專題二：“納米壓印光刻的今天和明天”—看微納制造技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)化
嘉賓分享
極端微納制造及光學(xué)應(yīng)用
段輝高
湖南大學(xué)粵港澳大灣區(qū)創(chuàng)新研究院 院長(zhǎng)/教授
段院長(zhǎng)以“極端微納制造及光學(xué)應(yīng)用”為題，從精密制造的本質(zhì)出發(fā)，探討光學(xué)制造未來的發(fā)展趨勢(shì)。同時(shí)，也從產(chǎn)業(yè)需求牽引以及學(xué)術(shù)前沿牽引的角度，分享了團(tuán)隊(duì)目前在探索的超構(gòu)材料與器件。例如：微型濾光片陣列、液晶調(diào)控動(dòng)態(tài)超構(gòu)表面、多維信息探測(cè)用平面透鏡等。
段院長(zhǎng)表示“光學(xué)精密制造主要是通過我們的光學(xué)手段來完成，精密測(cè)量也需要通過光學(xué)手段來實(shí)現(xiàn)。不管是現(xiàn)在的量子技術(shù)、生物科技、生物芯片等新興產(chǎn)業(yè)，還是未來產(chǎn)業(yè)，這些新質(zhì)生產(chǎn)力都是高度依賴于我們現(xiàn)在光學(xué)精密制造或者光學(xué)精密元件。當(dāng)前我們的制造參數(shù)愈發(fā)的極端化。與此同時(shí)，多維結(jié)構(gòu)以及多維材料的需求，都對(duì)制造出了大量的挑戰(zhàn)。光學(xué)精密制造最終肯定會(huì)達(dá)到原子尺度與精度的制造要求，從而達(dá)成量子功能與性能的目標(biāo)。
高精度對(duì)位壓印技術(shù)與高精度步進(jìn)壓印技術(shù)在微納制造中的應(yīng)用
史曉華
蘇州光舵微納科技股份有限公司 總經(jīng)理
報(bào)告介紹了納米壓印技術(shù)、步進(jìn)及套刻納米壓印技術(shù)，以及其在半導(dǎo)體方面的應(yīng)用及相關(guān)優(yōu)勢(shì)。史總表示：“壓印是一種低成本的微納圖形復(fù)制技術(shù)?？梢栽诘统杀镜那闆r下做大量纖維非常小的結(jié)構(gòu)，這是它主要優(yōu)勢(shì)。但它是工藝、設(shè)備、耗材三要素必須結(jié)合的方案型技術(shù)。”
在步進(jìn)及對(duì)位納米壓印技術(shù)應(yīng)用方面，史總提到當(dāng)前如AR模板，超透鏡模板等的拼接制作上有幾個(gè)難點(diǎn)需要攻克：一、圖案?jìng)鬟f的保真性；二、拼接位置的精度；三、良品率的控制等。
全國(guó)產(chǎn)大口徑離子束設(shè)備在微納光學(xué)中的應(yīng)用
易洪波
博頓光電科技有限公司 副總經(jīng)理
報(bào)告以“全國(guó)產(chǎn)大口徑離子束設(shè)備在微納光學(xué)中的應(yīng)用”為主題，從離子束流操控原理、工藝設(shè)備方案和離子束鍍膜、刻蝕、減薄、拋光、應(yīng)力釋放等工藝機(jī)理方面，全面介紹離子束設(shè)備及其關(guān)鍵零部件離子源的全國(guó)產(chǎn)化解決方案。
易總指出，離子束微納加工應(yīng)用場(chǎng)景非常廣泛，優(yōu)勢(shì)突出，具有增、減、改三大性能?？捎行У慕鉀Q微納光學(xué)領(lǐng)域的一些難題，包括大口徑、曲面或者特殊材料，在超薄、超低吸收、超高均勻性等方面都有一定的優(yōu)勢(shì)。
位移泰伯光刻技術(shù)：一種光電應(yīng)用的批量生產(chǎn)解決方案
王濤
北京優(yōu)利賽爾科技有限公司EULITHA 中國(guó)區(qū)銷售總監(jiān)
王總以“位移泰伯光刻技術(shù)：一種光電應(yīng)用的批量生產(chǎn)解決方案”為題，帶來前沿光刻技術(shù)分享。該技術(shù)基于DTL技術(shù)，主要針對(duì)于光電領(lǐng)域，比如說二維的周期性結(jié)構(gòu)應(yīng)用，具有大視場(chǎng)、高景深、高分辨的特點(diǎn)。作為新的圖案設(shè)計(jì)工具，DTL技術(shù)具備更靈活的圖案加工能力。有大面積納米周期圖案需求的領(lǐng)域，在光的產(chǎn)生、傳導(dǎo)、 調(diào)控、 探測(cè)等領(lǐng)域都有廣闊的應(yīng)用前景。
納米壓印光刻：微納光學(xué)結(jié)構(gòu)加工解決方案
冀然 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司 董事長(zhǎng)
報(bào)告以“納米壓印光刻：微納光學(xué)結(jié)構(gòu)加工解決方案”為題，闡述了納米壓印光刻的幾大優(yōu)點(diǎn)：一、成本低廉，可在很便宜的設(shè)備條件下，實(shí)現(xiàn)很高的結(jié)構(gòu)精度；二、具有結(jié)構(gòu)多樣性，可實(shí)現(xiàn)三維的光學(xué)結(jié)構(gòu)；三、材料選擇限制小，可以用玻璃作為結(jié)構(gòu)的載體，直接在表面壓印出光學(xué)結(jié)構(gòu)，形成可以用于消費(fèi)級(jí)的器件。這些優(yōu)勢(shì)都決定了納米壓印光刻在光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用。冀總還指出，目前納米壓印光刻的主要市場(chǎng)其中之一是消費(fèi)類產(chǎn)品，例如手機(jī)的人臉識(shí)別、3D攝像的光學(xué)器件屏幕指紋識(shí)別、車載光學(xué)AR HUD等。
超精密加工技術(shù)及其應(yīng)用
王文奎 博士
香港理工大學(xué)工業(yè)及系統(tǒng)工程學(xué)系 超精密加工技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 工程師
(港理工杜雪團(tuán)隊(duì))
超精密加工技術(shù)之加工精度可以達(dá)至亞微米級(jí)的形狀精度和納米級(jí)的表面粗糙度,它是當(dāng)今科技創(chuàng)新的重要支撐技術(shù)之一，在光電子學(xué)、機(jī)電一體化、光學(xué)、通訊、生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。
本次報(bào)告王老師以“超精密加工技術(shù)及其應(yīng)用”為題，介紹了團(tuán)隊(duì)在超精密加工技術(shù)中的單點(diǎn)金剛石加工的一些研究工作，具體涉及一些非球面表面、微納結(jié)構(gòu)表面、自由曲面表面等在多種材料上的加工實(shí)現(xiàn)，及其在新型光電產(chǎn)品中的應(yīng)用。
超光滑拋光技術(shù)及應(yīng)用探索
張旭川 研究員
國(guó)家科技專家?guī)?專家
成都貝瑞光電科技股份有限公司 董事長(zhǎng)
報(bào)告從超光滑拋光技術(shù)的科學(xué)背景出發(fā)，介紹了超光滑拋光技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢(shì)。
張總表示：“隨著國(guó)家發(fā)展硬核科技，超光滑拋光技術(shù)+超光滑表面光學(xué)元件會(huì)得到越來越多的重視和應(yīng)用。特別是最近幾年，國(guó)內(nèi)對(duì)這方面的需求明顯增加，而且出現(xiàn)在不同的領(lǐng)域。那怎么實(shí)現(xiàn)多技術(shù)的融合，特別是怎么用AI智慧制造，如何在材料、精密設(shè)備、精密檢測(cè)、精密鍍膜各方面進(jìn)行協(xié)同創(chuàng)新，都是當(dāng)前需要深度思考的問題。”
DUV光刻級(jí)合成石英研制進(jìn)展
錢宜剛
南通晶體有限公司 總經(jīng)理
(會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)由馬俊逸先生代為演講)
南通晶體代表提出：合成石英具有極佳的光譜特性，優(yōu)良的耐高溫性能，化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，熱穩(wěn)定性好，電絕緣性好?？蓱?yīng)用于遙感衛(wèi)星用窗口和鏡頭、核技術(shù)用石英鏡頭、激光干涉儀等。當(dāng)前紫外合成石英性能需求為以下六點(diǎn)：一、紫外高透過率；二、耐輻射性能；三、低金屬雜質(zhì)含量；四、低羥基含量；五、低應(yīng)力雙折射；六、高光學(xué)均勻性。
感謝以上嘉賓的精彩演講和高質(zhì)量?jī)?nèi)容產(chǎn)出！本次大會(huì)共計(jì)舉辦兩天，明天我們即將帶來：機(jī)器視覺與人工智能擦出的火花—機(jī)器視覺賦能工業(yè)應(yīng)用 和 “遇”見光學(xué)薄膜未來：光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)、制造及應(yīng)用專題演講及討論，敬請(qǐng)期待！
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