Dektak150型是Veeco公司2007年正式推出的型探針式表面輪廓儀(臺(tái)階儀)產(chǎn)品，主要應(yīng)用于薄膜厚度測量、樣品表面形貌測量、薄膜應(yīng)力測量、樣品表面粗糙度/波紋度測量、以及樣品表面三維形貌測量等眾多領(lǐng)域。

探針輪廓儀（臺(tái)階儀）DEKATK150

集40多年的探針輪廓技術(shù)創(chuàng)新于一身，該系統(tǒng)在行業(yè)內(nèi)的表現(xiàn)遙遙，以重現(xiàn)性*和標(biāo)準(zhǔn)掃描范圍zui大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項(xiàng)，用于程序化測量、低探針力表征和細(xì)節(jié)分析

臺(tái)階儀 Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）

規(guī)格：

測試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)

測試功能：二維表面輪廓測試

樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器

探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）

探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg

          使用N-lite傳感器：0.03至15 mg

探針選項(xiàng)：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;

          高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um

樣品載物臺(tái)：手動(dòng)X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動(dòng)校平；

            可選Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；

            可選X-Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，150 mm行程；

            1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)： 主機(jī)使用celeron或者semprom處理器

軟件：Dektak軟件

      臺(tái)階檢測軟件

      可選應(yīng)力測量軟件

      可選三維Vision分析軟件

      可選縫合軟件

減震裝置：可選桌式震動(dòng)隔離裝置

          可選臺(tái)式震動(dòng)隔離裝置

性能

掃描長度范圍 55mm（2.1英寸）

每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) zui多12萬數(shù)據(jù)點(diǎn)

zui大樣品厚度 高達(dá)90 mm （4英寸），取決于配置

zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）

臺(tái)階高度重現(xiàn)性 6埃

垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um（0.02英寸）；可選1mm

垂直分辨率：zui大1A（6.55um垂直范圍下）

尺寸：292 mm *508 mm*527 mm

重量：34 kg

電源要求：

輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ