產(chǎn)品原理
照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)干涉條紋明暗度解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測(cè)量
2. 高精度測(cè)量、結(jié)果可作為計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)：垂直解析度可達(dá)0.1nm、水平解析度可達(dá)0.1um
3. 大面積測(cè)量 自動(dòng)縫合技術(shù)實(shí)現(xiàn)大面積高精度測(cè)量
4. 功能強(qiáng)大、使用便捷的測(cè)量分析軟：PRVision應(yīng)用軟件可提供多項(xiàng)測(cè)量參數(shù)
5. 適用范圍廣泛 可以測(cè)量多種類(lèi)型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)
6. 真正意義的免維護(hù)及優(yōu)良的性能價(jià)格比
軟件功能
1. 硬件控制、二維載物平臺(tái)自動(dòng)控制、光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)聚焦、干涉信號(hào)處理
2. 測(cè)量結(jié)果顯示及各種方式處理：二維平面和三維立體顯示、任意放大或縮小顯示圖像、調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn)
3. 粗糙度測(cè)量及結(jié)果顯示：包括評(píng)價(jià)區(qū)域位置信息和多種粗糙度評(píng)價(jià)參數(shù)
4. 線寬測(cè)量及結(jié)果顯示：采用亞像素插值處理技術(shù)，線寬測(cè)量精度zui高可達(dá)0.1um、表格形式顯示各種線寬結(jié)果、根據(jù)事先確定的評(píng)判基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)線寬自動(dòng)評(píng)判功能
5. 多幅相鄰區(qū)域測(cè)量結(jié)果自動(dòng)縫合
應(yīng)用領(lǐng)域
在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、微機(jī)電、平面顯示器與電子封裝等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定產(chǎn)品的功能和效能，在其制成過(guò)程中皆需針對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界及研究部門(mén)之需求。無(wú)論是拋光表面還是粗糙表面，只要反光率超過(guò)1%，就能被*檢測(cè)出來(lái)。半導(dǎo)體硅片及器、MEMS裝置表面、平面液晶顯示器、薄膜厚度、金屬摩擦學(xué)、陶瓷基板表面、光學(xué)器件表面、其他材料分析及微表面研究。
