采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量，評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過(guò)釘合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤(pán)，使采集的單個(gè)測(cè)量點(diǎn)相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤(pán)的儀器。與尼普科夫掃描盤(pán)相比，微透鏡掃描盤(pán)使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測(cè)量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源，避免了使測(cè)量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無(wú)限長(zhǎng)。儀器配備了物鏡切換盤(pán)，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
檢測(cè)物件的設(shè)定和測(cè)量全過(guò)程可以通過(guò)一個(gè)獨(dú)立的監(jiān)視器觀察。測(cè)量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)估程序。
儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤(pán)自動(dòng)伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
主要用途：
粗糙和光滑表面的測(cè)量和顯示
亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測(cè)量
金相測(cè)量
非接觸式表面輪廓的計(jì)量
主要特點(diǎn)
0,1mm2到0,7mm2視場(chǎng)
采用釘合方式擴(kuò)大視場(chǎng)
配置物鏡切換盤(pán)
確定垂直分辨率來(lái)設(shè)定測(cè)量時(shí)間
橫向分辨率可達(dá)1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm
具有采用微透鏡掃描盤(pán)的快速光學(xué)系統(tǒng)
全自動(dòng)數(shù)據(jù)評(píng)估
實(shí)驗(yàn)室和在線兩用設(shè)計(jì)
主要優(yōu)點(diǎn)：
高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對(duì)物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化
測(cè)量結(jié)果與材料表面性能無(wú)關(guān)
根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
無(wú)人干預(yù)全自動(dòng)測(cè)量過(guò)程
將微透鏡掃描盤(pán)自動(dòng)伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
采用壓電驅(qū)動(dòng)或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描
軟件:
Windows XP 操作系統(tǒng)
測(cè)量和評(píng)估軟件包括下列功能：
水平調(diào)整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過(guò)濾，數(shù)學(xué)計(jì)算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測(cè)定，斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。
用戶特定要求的計(jì)算方法
技術(shù)數(shù)據(jù)：
共焦顯微鏡頭
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤(pán)的掃描共焦傳感器
光源: LED
壽命 h: > 50,000小時(shí)
采用步進(jìn)電機(jī)時(shí)的測(cè)量范圍mm：50mm
采用壓電執(zhí)行器件時(shí)的測(cè)量范圍µm: 100/150µm
zui高垂直分辨率 nm: 5nm
zui高橫向分辨率µm: 1µm
工作距離mm: 0.66mm
視場(chǎng)µm: 370 x 280µm
256個(gè)高度臺(tái)階的測(cè)量時(shí)間s: 約 30秒
重量kg：約12kg
測(cè)量工作臺(tái)
X、Y、Z每軸位移mm: 50mm
zui小步距µm : 1µm
