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SFT9400系列 日本日立儀器X射線熒光薄膜厚測量儀SFT9400系列X射線熒光鍍層厚度測量儀

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SFT9000系列里的機(jī)型“SFT9455”,搭載75W高速X射線管和雙重檢驗(yàn)裝置(半導(dǎo)體檢驗(yàn)裝置十比例計數(shù)管)。

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概述:

SFT9000系列里的機(jī)型“SFT9455”,搭載75W高速X射線管和雙重檢驗(yàn)裝置(半導(dǎo)體檢驗(yàn)裝置十比

例計數(shù)管)。適用“薄膜”、“金屬膜”、“極微小部分測定”等所有鍍膜膜厚測定要求的高性能膜

厚測量儀器。而且 “SFT9455”在鍍膜厚度測量功能的基礎(chǔ)上還可以用作異物定性分析和材料成分分析。

 

主要特點(diǎn):

搭載雙向分離工檢測器(半導(dǎo)體檢測器+比例計數(shù)管):搭載在X射線能量分辨率上,優(yōu)秀的半導(dǎo)體檢測器

(起作用液化氮)和計數(shù)率優(yōu)秀的比例計數(shù)管,能夠根據(jù)運(yùn)用需要對應(yīng)使用。特點(diǎn)是半導(dǎo)體檢測器,能夠

區(qū)分Ni和Cu這樣相似的元素。它有以下的特點(diǎn):

1.能夠?qū)i/Cu和Au/Ni/Cu不需要二次過濾的情況下進(jìn)行測定。

2.對于含Br的打印基板,可以做到不受Br干擾進(jìn)行高精度的Au鍍膜厚度測定?!  ?/span>

3.能夠測定0.01μm以下極薄的Au鍍膜。

4.薄膜FP軟件:對應(yīng)含鉛的合金鍍膜和多層鍍膜等,適用于廣泛的運(yùn)用領(lǐng)域。

5.適用測定極微小部分,15μmΦ的準(zhǔn)直管為標(biāo)準(zhǔn)裝備。能夠測定微小部分鍍膜厚度。  

6.搭載75W高性能X射線管。

7.容易對微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。

8.能夠測定大型打印基板的大型平臺。

9.依據(jù)照明,能夠觀察以往難以觀察的樣品。

10.搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。

11.利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動平臺。

12.正確的對焦,利用激光能夠正確得對焦測試樣品。

13.報告制作軟件,運(yùn)用微軟的軟件能夠簡單得把測定的數(shù)據(jù)制作成書面材料。

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