OLS5000 3D 測量激光顯微鏡 OLS5000 3D 測量激光顯微鏡
名稱： OLS5000 3D 測量激光顯微鏡
LEXT OLS5000 3D是一款激光掃描的顯微鏡，通過非接觸方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量，不會損壞樣品?？梢苑奖愕目旖莸孬@取影像，同時配備豐富的測量功能、包括粗糙度測量。
LEXT OLS5000 3D是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量，不會損壞樣品?？梢苑奖憧旖莸孬@取影像，同時配備豐富的測量功能、包括粗糙度測量。
LEXT OLS5000 3D是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量，不會損壞樣品?？梢苑奖憧旖莸孬@取影像，同時配備豐富的測量功能、包括粗糙度測量。
LEXT OLS5000 3D是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量，不會損壞樣品?？梢苑奖憧旖莸孬@取影像，同時配備豐富的測量功能、包括粗糙度測量。
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高分辨率，精確成像
憑借對各種類型樣品進行精確3D測量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。
的橫向分辨率
*的測量值
LEXT物鏡可精確測量采用其他方式測量會發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。
傳統(tǒng)物鏡
LEXT物鏡
新開發(fā)的MEMS掃描振鏡
新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學像差，可進行精確的X-Y掃描。
