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- 公司名稱 伯東企業(yè)(上海)有限公司
- 品牌
- 型號 KDC
- 所在地 上海市
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2019/6/27 14:40:02
- 訪問次數(shù) 1038
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上海伯東美國*考夫曼離子源 KDC 系列, 加熱燈絲產(chǎn)生電子, 是典型的考夫曼型離子源, 增強設(shè)計輸出高質(zhì)量,穩(wěn)定的電子流.
價格電議
美國 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列
美國 KRI 霍爾離子源 eH 系列緊湊設(shè)計,高電流低能量寬束型離子源,提供原子等級的細(xì)微加工能力, 霍爾離子源 eH 可以有效地以納米精度來處理薄膜及表面,多種型號滿足科研及工業(yè)、半導(dǎo)體應(yīng)用。霍爾離子源高電流提高鍍膜沉積速率,低能量減少離子轟擊損傷表面,寬束設(shè)計有效提高吞吐量和覆蓋沉積區(qū)。整體易操作,易維護。霍爾離子源 eH 提供一套完整的方案包含離子源、電子中和器、電源供應(yīng)器、流量控制器 (MFC)等等可以直接整合在各類真空設(shè)備中,例如鍍膜機,load lock、濺射系統(tǒng)、卷繞鍍膜機等。
美國 KRI 霍爾離子源 eH 特性:
無柵極
高電流低能量
發(fā)散光束 >45
可快速更換陽極模塊
可選 Cathode/Neutralize 中和器
美國 KRI 霍爾離子源 eH 主要應(yīng)用:
輔助鍍膜 IBAD
濺鍍&蒸鍍 PC
表面改性、激活 SM
沉積 (DD)
離子蝕刻 LIBE
光學(xué)鍍膜
Biased target ion beam sputter deposition (BTIBSD)
Ion Beam Modification of Material Properties (IBM)
例如:
1. 離子輔助鍍膜及電子槍蒸鍍
2. 線上式磁控濺射及蒸鍍設(shè)備預(yù)清洗
3. 表面處理
4. 表面硬化層鍍膜
5. 磁控濺射輔助鍍膜
7. 偏壓離子束磁控濺射鍍膜
霍爾離子源 eH 技術(shù)參數(shù):
型號 | eH200 | eH400 | eH1000 | eH1000xO2 | eH2000 | eH3000 |
Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others | ||||||
Cathode/Neutralizer | F or HC | F or HC | F or HC | F or HC | F or HC HC HC | HC |
電壓 | 30-300V | 50-300V 30-150V | 50-300V 30-150V 50-300V | 100-300V | 50-300V 30-150V 50-250V | 50-250V 50-300V 50-250V |
電流 | 2A | 5A 10A | 10A 12A 5A | 10A | 10A 15A 15A | 20A 10A 15A |
散射角度 | >45 | >45 | >45 | >45 | >45 | >45 |
氣體流量 | 1-15sccm | 2-25sccm | 2-50sccm | 2-50sccm | 2-75sccm | 5-100sccm |
高度 | 2.0“ | 3.0“ | 4.0“ | 4.0“ | 4.0“ | 6.0“ |
直徑 | 2.5“ | 3.7“ | 5.7“ | 5.7“ | 5.7“ | 9.7“ |
水冷 | 無 | 可選 | 可選 | 可選 | 是 | 可選 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源 Gridded 和霍爾離子源 Gridless. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射沉積 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國考夫曼離子源 (離子槍) 中國總代理.
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