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RHEED 反射式高能電子衍射儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京匯德信科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) RHEED
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2020/9/29 11:37:04
  • 訪問次數(shù) 979

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RHEED-反射式高能電子衍射儀是觀察晶體生長重要的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工具之一。它可以通過非常小的掠射角將能量為10~30KeV的單能電子掠射到晶體表面,通過衍射斑點(diǎn)獲得薄膜厚度,組分以及晶體生長機(jī)制等重要信息。 因此反射高能電子衍射儀已成為MBE、PLD等系統(tǒng)中監(jiān)測(cè)薄膜表面形貌的一種標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

       R-DEC公司生產(chǎn)的反射高能電子衍射儀,以便于操作者使用的人性化設(shè)計(jì),穩(wěn)定性和耐久性以及擁有高亮度的衍射斑點(diǎn)等特點(diǎn),得到日本本土及其他國家各研究機(jī)構(gòu)的*好評(píng)和認(rèn)可。
 

  RHEED-反射式高能電子衍射儀特點(diǎn):
 

  可遠(yuǎn)程控制調(diào)節(jié)電壓,束流強(qiáng)度,聚焦位置以及光束偏轉(zhuǎn)
 

  XY軸±5度電子束偏轉(zhuǎn)
 

  高效熒光屏擁有高亮度衍射斑點(diǎn)
 

  電子槍內(nèi)表面經(jīng)特殊處理,能實(shí)現(xiàn)極低放氣率
 

  鎳鐵高導(dǎo)磁合金磁屏蔽罩(可選)
 

  可搭載差動(dòng)排氣系統(tǒng)用于低真空系統(tǒng)(可選)
 

  負(fù)高壓電源安全閉鎖功能
 

  經(jīng)久耐用,穩(wěn)定可靠
 

  符合歐盟RoHS指令
 

  kSA400分析軟件(可選)
 

  RHEED-反射式高能電子衍射儀規(guī)格:
 

  30KeV 電子槍

 

型號(hào)RDA-004G
電子束徑φ90μm
燈絲φ0.1mm 發(fā)夾式鎢燈絲
控制電極定量偏壓
集束線圈空心型電磁線圈
偏向線圈環(huán)形電磁線圈
軸向校正燈絲,控制電極
絕緣電壓DC30KV
工作壓強(qiáng)范圍< 10-4Pa~10-9Pa
大烘烤溫度200℃
連接法蘭ICF70(外徑φ2.75英寸)
外形尺寸φ100 x 401mm 
(可加長100mm)

 

     30KeV 電子槍電源

 

型號(hào)RDA-004P
加速電壓0~30KV 定電壓電源(紋波值≤0.03%)
電子束電流0~160μA
燈絲電源0~2V定電壓電源2Amax(紋波電壓≤0.05%)
燈絲電流Max. 2A
偏向線圈電源±1A定電流電源±1V(紋波電壓≤0.05%)
集束線圈電源±0~1.5A定電流電源0~22V(紋波電壓≤0.05%)
輸入電壓200V, 220V, 230V, 240V
外形尺寸480mm x 199mm x 500mm(可加長100mm)
安全功能安全閉鎖裝置

 

  反射高能電子衍射儀分析系統(tǒng)(kSA400 Leader in Analytical RHEED and LEED)
 

  kSA400 分析軟件是較專業(yè)的RHEED分析系統(tǒng),適合各種反射高能電子衍射儀和薄膜沉積系統(tǒng),目前第四代系統(tǒng)結(jié)合優(yōu)質(zhì)的硬件和功能強(qiáng)大的軟件除了可以實(shí)時(shí)取得分析數(shù)據(jù)之外,還可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)晶格間距,原位應(yīng)力,實(shí)時(shí)薄膜沉積速率以及薄膜厚度的解析。為用戶提供較廣泛的RHEED分析信息。
 

  RHEED應(yīng)用
 

  RHEED可以廣泛應(yīng)用于MBE(分子束外延), PLD(脈沖激光沉積)等其它需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料生長狀態(tài)的設(shè)備中。它將帶有晶體表面信息的反射束呈現(xiàn)于接收熒光屏上,通過圖像采集和解析軟件,對(duì)收集到的信息進(jìn)行分析,從而使用戶獲得薄膜厚度,組分以及晶體生長機(jī)制等重要信息。


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