光學原子力顯微鏡一體機工作模式：接觸、輕敲、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力，可選配液體模式

光學原子力顯微鏡一體機技術參數

◆ 原子力工作模式：接觸、輕敲、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力，可選配液體模式
◆ 原子力掃描范圍：XY向20um，Z向2um（可選配XY向50um，Z向5um）
◆ 樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
◆ 掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 樣品移動范圍：0~20mm
◆ 光學物鏡：5X，10X，20X，50X平場復消色差
◆ 光學目鏡：10X
◆ CCD傳感器：300萬像素
◆ 顯示屏：11.6寸平板顯示器，帶測量功能
◆ 光學調焦方式：電動調焦
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°
◆ 掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
◆ 數據采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式：DSP數字反饋
◆ 反饋采樣速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 運行環(huán)境：WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)

應用范圍