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半自動(dòng)/全自動(dòng)真空探針臺(tái)

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半自動(dòng)/全自動(dòng)真空探針臺(tái)由美國MicroXact公司生產(chǎn),該探針臺(tái)通過真空系統(tǒng)、氣體壓力系統(tǒng)及自動(dòng)化軟件實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)真空腔內(nèi)真空度的精確控制,通過光學(xué)顯微鏡及搭配的數(shù)字成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)試晶圓影像的捕捉及存儲(chǔ),并通過軟件控制自動(dòng)馬達(dá)根據(jù)設(shè)定程序?qū)崿F(xiàn)晶圓測(cè)試過程中的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)及移動(dòng)測(cè)試功能。同時(shí)配置的變溫載物臺(tái)通過加熱和冷卻裝置實(shí)現(xiàn)樣品的變溫測(cè)試目的。

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全自動(dòng)真空探針臺(tái)由美國MicroXact公司生產(chǎn),該探針臺(tái)通過真空系統(tǒng)、氣體壓力系統(tǒng)及自動(dòng)化軟件實(shí)現(xiàn)對(duì)系統(tǒng)真空腔內(nèi)真空度的精確控制,通過光學(xué)顯微鏡及搭配的數(shù)字成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)試晶圓影像的捕捉及存儲(chǔ),并通過軟件控制自動(dòng)馬達(dá)根據(jù)設(shè)定程序?qū)崿F(xiàn)晶圓測(cè)試過程中的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)及移動(dòng)測(cè)試功能。同時(shí)配置的變溫載物臺(tái)通過加熱和冷卻裝置實(shí)現(xiàn)樣品的變溫測(cè)試目的。

 

技術(shù)規(guī)格:

1. 支持大晶圓尺寸:200mm

2. X-Y軸移動(dòng)重復(fù)性+/- 2 mm

3. X-Y軸移動(dòng)分辨率:100 nm

4. Z軸移動(dòng)重復(fù)性:+/-2mm,移動(dòng)分辨率:100nm

5. 可配置46只探針臂,可選配RF探針臂,可選配探針卡

6. 顯微鏡分辨率:4mm

7. 可測(cè)試溫度:77K~680K

8. MicroXact's XactTest™軟件全自動(dòng)控制壓力及平臺(tái)移動(dòng)。

 


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