透射電子顯微鏡是僅有的提供在較高時間分辨率下得到原子級空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。掃描探針式TEM電學(xué)系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元，通過探針對單個納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操控和電學(xué)測量。并可在電學(xué)測量的同時，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價態(tài)進(jìn)行綜合表征，*地擴(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

概述：

　透射電子顯微鏡是僅有的提供在較高時間分辨率下得到原子級空間分辨率的實(shí)驗(yàn)手段。掃描探針式TEM電學(xué)系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元，通過探針對單個納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操控和電學(xué)測量。并可在電學(xué)測量的同時，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價態(tài)進(jìn)行綜合表征，*地擴(kuò)展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

　　掃描探針式TEM電學(xué)系統(tǒng)包括包括兩部分，分別是掃描探針控制器（內(nèi)含電壓源、電流放大器）與原位測量樣品桿部分。

功能：

應(yīng)用案例

規(guī)格參數(shù)：

透射電子顯微鏡指標(biāo)

• JEOL 電鏡兼容或者FEI電鏡兼容

• 保證透射電鏡原有的分辨率（非球差校正）；



• 掃描探針操縱指標(biāo)

• 粗調(diào)范圍：XY方向2.5mm，Z方向1.5mm。

• 細(xì)調(diào)范圍：XY方向18um，Z方向1.5um。

• 細(xì)調(diào)分辨率：XY方向0.3nm，Z方向0.03nm。

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  電學(xué)測量指標(biāo)

• 包含一個電流電壓測試單元。

• 電流測量范圍：0-20mA，5個量程。電流分辨率：優(yōu)于30fA。

• 電壓輸出范圍：普通模式±10V，高壓模式±150V。

• 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。




 
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• 注：細(xì)調(diào)范圍與分辨率允許±20%的誤差。以上指標(biāo)可能根據(jù)系統(tǒng)配置不同而略有變化。 


 
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