TMC SEM-Base VI 主動(dòng)壓電振動(dòng)消除產(chǎn)品
SEM-Base VI采用 du,特 串聯(lián)結(jié)構(gòu)，振動(dòng)傳感器測(cè)量的是地面振動(dòng)，不是負(fù)載振動(dòng)。這樣就確保了負(fù)載諧振將不會(huì)限制平臺(tái)的振動(dòng)隔離或者引起不穩(wěn)定性。振動(dòng)傳感器采用低頻慣性速度傳感器，在測(cè)量亞Hz振動(dòng)時(shí)具有 zui,大 的敏感度。加上TMC du,特 的壓電致動(dòng)技術(shù)，SEM-Base VI即使在振動(dòng)情況已經(jīng)很好的地面上 也可以實(shí)現(xiàn) chao,高 水平的振動(dòng) xiao,除。
優(yōu)勢(shì)
硬式裝載技術(shù) SEM-Base VI兼容 SEM 內(nèi)部預(yù)裝的任何隔振系統(tǒng)， 從 0.6Hz 開(kāi)始主動(dòng) qiang,力 消減地面低頻振動(dòng)。
主動(dòng)慣性振動(dòng) xiao,除 SEM-Base VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也可以達(dá)到高水平的振動(dòng)衰減。
串行設(shè)計(jì)與壓電技術(shù) du,特串行設(shè)計(jì)加上高強(qiáng)度壓電技術(shù)，SEM-Base VI不但達(dá)到了寬至 0.6Hz-150Hz的主動(dòng)帶寬，更實(shí)現(xiàn)了 wu,與,lun,比 的慣性主動(dòng)振動(dòng) xiao,除，2Hz以上的振動(dòng)衰減可達(dá)90%以上。
wan,全 集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì) SEM-Base Vi設(shè)計(jì)與制造的集成化，將安裝平臺(tái)的工作簡(jiǎn)化到了 ji,致，簡(jiǎn)單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。
TMC SEM-Base VI 主動(dòng)壓電振動(dòng)消除產(chǎn)品
特色
● STACIS技術(shù)
● 主動(dòng)慣性振動(dòng) xiao,除 系統(tǒng)
● 895×1124×160 mm（35.25×44.25×6.3 in.）
● 適合絕大多數(shù)商業(yè)SEMs
● 負(fù)載能力：408-1134 kg（900-2500 lb.）
● 隔振效率1Hz：40-70%
隔振效率2Hz：90%
隔振效率>3Hz：90-98%
● 6個(gè)主動(dòng)自由度
● 安裝容易，調(diào)諧簡(jiǎn)單
● 兼容所有設(shè)備內(nèi)置的振動(dòng)隔離系統(tǒng)
● 電源：
100-240VAC，50/60Hz，<600W
● 是否需要空氣：非氣浮系統(tǒng)
● CE與RoHS認(rèn)證
● wan,全 集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)
● 可安裝腳輪，輕松便攜移動(dòng)，無(wú)需搬運(yùn)
● 兼容SEM-Lift系統(tǒng)
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激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等
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