泰勒白光干涉儀/非接觸式輪廓儀CCI HD
CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀，具有測(cè)量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有**的新型關(guān)聯(lián)算法，來(lái)查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界**的非接觸式尺寸測(cè)量功能和先進(jìn)的厚薄膜測(cè)量技術(shù)。

泰勒白光干涉儀/非接觸式輪廓儀CCI HD

泰勒霍普森白光干涉儀/非接觸式輪廓儀：

CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀，具有測(cè)量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有**的新型關(guān)聯(lián)算法，來(lái)查找由我們的精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界**的非接觸式尺寸測(cè)量功能和先進(jìn)的厚薄膜測(cè)量技術(shù)。

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度測(cè)量功能，還可以提供兩種類型的膜厚測(cè)量。 近年來(lái)厚膜分析被用于研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料；測(cè)量的厚度限制取決于材料的折射率和標(biāo)的物的 NA。 測(cè)量較薄的涂層被證實(shí)為難度更高。現(xiàn)在通過(guò)干涉測(cè)量法可以研究厚度至 50 納米（同樣取決于折射率）的薄膜涂層。 采用這種新型方法，可以在單次測(cè)量中研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。

關(guān)鍵特性：

     。 2048 x 2048像素陣列，視場(chǎng)廣，高分辨率
     。 全量程0.1埃的分辨率
     。 適用于0.3% - 100%的表面反射率
     。 RMS 重復(fù)精度<0.2埃，階躍高度重復(fù)精度<0.1%
     。 多語(yǔ)言版本的64位控制和分析軟件

先進(jìn)的白光干涉儀：

     。 2.2 mm垂直范圍，帶閉環(huán)無(wú)壓電Z軸掃描儀
     。 AutoStitch作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可高分辨率測(cè)量大型零件
     。 2048 x 2048像素陣列用于高分辨率的大視野
     。 新型Claritas 20照明系統(tǒng)，角度靈敏度更高，可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量

提高數(shù)據(jù)質(zhì)量：

     。 <0.2Åstrom RMS重復(fù)性，<0.1％臺(tái)階高度重復(fù)性
     。 FEA優(yōu)化的機(jī)械設(shè)計(jì)，具有出色的R＆R功能
     。 在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)的分辨率為0.1埃
     。 內(nèi)置防振功能，可實(shí)現(xiàn)*佳數(shù)據(jù)質(zhì)量

無(wú)限的應(yīng)用可能性

表面的三個(gè)元素對(duì)于組件的功能至關(guān)重要。 **的粗糙度能力與大面積測(cè)量，先進(jìn)的數(shù)據(jù)分析（2D和3D）以及泰勒·霍布森（Taylor Hobson）的專業(yè)知識(shí)相結(jié)合，可提供業(yè)界**的計(jì)量技術(shù)。 許多用戶依靠CCI MP-HS解決其他儀器*無(wú)法處理的測(cè)量問(wèn)題。憑借出色的量程、*高的分辨率以及操作簡(jiǎn)便的優(yōu)勢(shì)，成為在眾多應(yīng)用場(chǎng)合中研發(fā)和質(zhì)量保證的理想工具。