傳感器類型: | 電感式 |
取樣長度: | 0.08, 0.25, 0.8, 2.5和8mm R3y, R3z, Ra, Rc, Rda, Rdc, Rdq, RHSC, Rku, RIn, Rlo, RIq, Rmr(C), Rmr, Rp, Rp1max, Rpc, |
粗糙度參數(shù): | Rq, RS, Rsk, RSm, Rt, Rv, Rvo, Rv1max, Rz, Rz(DIN), Rz(JIS), Rz1max Wa, Wc, Wda, Wdc, Wdq, WHSC, Wku, WIn, |
波紋度參數(shù): | Wlo, WIq, Wmr(c), Wmr, Wp, WPC, Wq, WS, Wsk, Wsm, Wt, Wv, Wvo, Wz Pa, Pc, Pda, Pdc, Pdq, PHSC, Pku, PIn, Plo, |
末濾波參數(shù): | Plq, Pmr(c), Pmr, Pp, PPC, Pq, PS, Psk, Psm, Pt, Pv, Pvo, Pz, Pz(JIS) |
濾波器: | Gaussian高斯濾波, 2CR濾波, 2CR PC濾波 |
高度測量不確定度: | 2% + 6nm |
角度測量不確定度: | 1% ( ±35°角度范圍內(nèi)) |
半徑測量不確定度 | 0.1 - 12.5mm= 2% to 0.04% 12.5 - 25mm= 0.04% 25- 1000mm= 0.04% to 0.2% |
橫向驅(qū)動行程 | 0.1mm - 50mm |
橫向數(shù)據(jù)點(diǎn)間距 | 0.5μm |
直線度誤差(Pt) | 0.4μm 在50mm內(nèi); 0.2μm在任意20mm |
測量/移動速度 | 10mm/s *大- 0.25mm/s*小 |
垂直方向測量范圍 | 1mm(60mm 測針臂); 2mm ( 120mm測針臂) |
垂直方向分辨率 | 16nm在1mm范圍內(nèi);3nm在0.2mm內(nèi) |