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波前測(cè)試儀-紫外光

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ＳＩＤ４?。眨郑龋遥ㄗ贤夤?/STRONG>）

基于相位的技術(shù), 在190納米到400納米波段，SID4 UV-HR波前分析儀（在紫外光譜范圍內(nèi)）具有超高的分辨率(250 x250)和*的靈敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是*適應(yīng)光學(xué)組件描述(用于光刻、半導(dǎo)體)和表面檢測(cè)(鏡頭,晶片……)

主要特點(diǎn)

．超高分辨率?。玻担啊粒玻担?/FONT>

．高靈敏度　?。埃担睿?RMS

．大型分析孔?。福啊粒福埃恚?/FONT>

.可以直接對(duì)光學(xué)器件表面進(jìn)行測(cè)量

*用途

．紫外激光器：光束的測(cè)量和校正

．光學(xué)：紫外線光學(xué)（半導(dǎo)體）測(cè)試和表面測(cè)量

ＳＩＤ４?。眨郑龋业脑敿?xì)規(guī)格

ＳＩＤ４　UV-HR

單位

數(shù)據(jù)

波長(zhǎng)范圍

nm

190-400

框口尺寸

mm^2

8.0*8.0

空間解析度

Um

32

相位和強(qiáng)度抽樣

250*250

分辨率

nmRMS

0.5

精密度

nmRMS

10

采集率

fps

>30

實(shí)時(shí)處理頻率

fps

1

規(guī)模(w*h*l)

mm

95*105*84

重量

g

900

羽宸光電 UV wavefront analyzer _ Phasics.pdf



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