GT160D氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為MFC） 用于對氣體的質(zhì)量流進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

   GT160D氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

技術(shù)特點

• 微處理器控制

內(nèi)部采用可編程未處理器控制，使用PID控制，可實現(xiàn)不同工況條件下進行高速*確的流量控制。

• RS-484總線接口

質(zhì)量流量控制器內(nèi)置RS-485總線接口，可選擇使用RS-485串口控制或按鍵控制兩種模式?？赏ㄟ^RS-485總線組網(wǎng)，實現(xiàn)多臺MFC同時控制。

• 標定方法

質(zhì)量流量控制器執(zhí)行JJG 1132-2017國家標準，所有產(chǎn)品均采用特定高純氣體標定，確保產(chǎn)品的精度。

可通過標定軟件對氣體質(zhì)量流量控制器進行標定，只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。

• 緊湊的外形尺寸

質(zhì)量流量控制器尺寸非常小巧緊湊，用戶使用時，不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量，同時能夠集成更多的功能模塊。

• 多氣體多量程選擇

質(zhì)量流量控制器內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式（H2、N2、Air、Ar、He等），用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時，本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品，用戶可根據(jù)需求進行選。

技術(shù)指標