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白光干涉儀&輪廓儀

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SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀

白光干涉測量技術(shù)廣泛應(yīng)用于光滑與粗糙表面的三維形貌表征。垂直方向的測量精度可以達(dá)到納米級別。 SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀擁有納米級測試精度,外接PC或筆記本電腦進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析。 SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀功能全面,輕松應(yīng)對各種測試環(huán)境。電動(dòng)XY雙軸樣品臺匹配自動(dòng)拼接程序,應(yīng)對大面積測試任務(wù)。典型應(yīng)用包括科學(xué)研究、質(zhì)量控制和工藝管理。

德國SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀具備如下優(yōu)點(diǎn):

  • 通用型
  • 精度高
  • 測速快
  • 穩(wěn)定可靠
  • 自動(dòng)拼接

MountainsMAP表面分析軟件與三維可視化測量報(bào)告

作為一款高品質(zhì)的表面成像與分析軟件,MountainsMAP適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及工廠各類機(jī)能表面的設(shè)計(jì)、測試或制造設(shè)備使用。 MountainsMAP擁有一整套全面的解決方案,于表面外觀及形貌的成像與分析,提供詳盡的三維可視化測量報(bào)告。


SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀技術(shù)參數(shù)

測量系統(tǒng)

量測原理

白光干涉

Z軸定位系統(tǒng)

壓電效應(yīng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)

高度量測范圍

大可達(dá)400 μm

攝像頭參數(shù)

CCD攝像頭;1624x 1234相素

干涉物鏡系統(tǒng)

放大倍數(shù)MAG

視場范圍FOV (mm)

橫向分辨率 (um)

2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 ×

4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2

10.54 μm – 0.55 μm

光源

LED

測試時(shí)間

通常<20秒

軟件系統(tǒng)

 

SmartWLI

基于微軟Win7操作系統(tǒng),64位表面形貌測量軟件;三維數(shù)據(jù)可通過接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。

MountainsMap

三維數(shù)據(jù)分析軟件,輪廓及三維影像結(jié)果輸出、測量數(shù)據(jù)預(yù)處理及后處理、德標(biāo)(DIN)歐標(biāo)( EN) ISO標(biāo)準(zhǔn)粗糙度及高度測定、串行處理及測試日志。

輸出文件格式

ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF


部分測試結(jié)果展示

液態(tài)軸承

晶片


鉆石工具

透鏡工具


金屬表面

汽車車身表面


粗糙度標(biāo)準(zhǔn)片

發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸



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