微電子工業(yè)高效空氣過濾器解決方案

 在微電子技術(shù)的設(shè)計(jì)和測(cè)試技術(shù)方面，隨著集成度和集成系統(tǒng)復(fù)雜性的提高，冗余技術(shù)、容錯(cuò)技術(shù)，將在設(shè)計(jì)技術(shù)中得到廣泛應(yīng)用。這對(duì)無塵室的空氣潔凈度要求會(huì)更加的嚴(yán)格,專家給大家介紹一種關(guān)于微電子工業(yè)高效空氣過濾器解決方案,實(shí)用性更強(qiáng),對(duì)潔凈無塵室的空氣起到質(zhì)的保證!

     高效空氣過濾器廣泛用于各行業(yè)的無塵凈化車間的空調(diào)末端送風(fēng)處，集成電路光刻工藝的尺寸是推動(dòng)潔凈度要求向前發(fā)展的決定性因素。技術(shù)越進(jìn)步，尺寸就越?。ㄈ缦卤恚＞哂泻芎玫倪^濾潔凈作用。的晶圓設(shè)備，微粒過濾和控制AMC是必須的。高效空氣過濾器在微電子行業(yè)的作用使微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)首要擔(dān)心的問題。

      微電子產(chǎn)品的功能要求越來越高， 如果落在集成電路上的粒子大于小光刻尺寸的1%～2%，就會(huì)使集成電路成為廢品。金屬粒子、離子、細(xì)菌等都是產(chǎn)生廢品的元兇。空氣潔凈度的好壞直接影響集成電路生產(chǎn)的成品率。 投資規(guī)模越來越大，對(duì)質(zhì)量水平的要求越發(fā)嚴(yán)格。我們的超高效過濾器可以成功的過濾0.1微米的粒子，在未來的時(shí)間里，將開發(fā)、生產(chǎn)更高效率的空氣過濾技術(shù)與之相適應(yīng)是我們義不容辭的責(zé)任。

      不能很好的在潔凈室或設(shè)備中控制微?；駻MC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營利潤。潔凈室的主要的問題是產(chǎn)品、工具、加工過程和氣味控制的污染 .1962年生產(chǎn)出晶體管——晶體管理邏輯電路和發(fā)射極藉合邏輯電路。MOS集成電路出現(xiàn)。由于MOS電路在高度集成方面的優(yōu)點(diǎn)和集成電路對(duì)電子技術(shù)的影響，集成電路發(fā)展越來越快。

　  實(shí)際上如果沒有計(jì)算機(jī)的輔助，集成電路的集成棄將超大型越每片106—107個(gè)元件，以至達(dá)到全圖片上集成一個(gè)復(fù)雜的微電子系統(tǒng)。較復(fù)雜的大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)是不可能的。70年代以來，集成電路利用計(jì)算機(jī)的設(shè)計(jì)有很大的進(jìn)展。制版的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、器件模擬、電路模擬、邏輯模擬、布局布線的計(jì)算輔助設(shè)計(jì)等程序，都先后研究成功，并發(fā)展成為包括校核、優(yōu)化等算法在內(nèi)的混合計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)，乃至整套設(shè)備的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)。

   集成電路制造的計(jì)算機(jī)管理，也已開始實(shí)現(xiàn)。此外，與大規(guī)模集成和超大規(guī)模集成的高速發(fā)展相適應(yīng)，有關(guān)的器件材料科學(xué)和技術(shù)、測(cè)試科學(xué)和計(jì)算機(jī)輔助測(cè)試、封裝技術(shù)和超凈室技術(shù)等都有重大的進(jìn)展。電子技術(shù)發(fā)展很快，在工藝技術(shù)上，微細(xì)加工技術(shù)，如電子束、離子束、X射線等復(fù)印技術(shù)和干法刻蝕技術(shù)日益完善，使生產(chǎn)上在到亞微米以至更高的光刻水平,高質(zhì)量的超薄氧化層、新的離子注入退火技術(shù)、高電導(dǎo)高熔點(diǎn)金屬以其硅化物金屬化和淺歐姆結(jié)等一系列工藝技術(shù)正獲得進(jìn)一步的發(fā)展。

 　 70年代，高效空氣過濾器在微電子行業(yè)的作用使微電子技術(shù)進(jìn)入了以大規(guī)模集成電路為中心的新階段。隨著集成密度日益提高，集成電路正向集成系統(tǒng)發(fā)展，電路的設(shè)計(jì)也日益復(fù)雜、費(fèi)時(shí)和昂貴。微粒過濾 MegaCel 過濾器專門為滿足嚴(yán)格的半導(dǎo)體行業(yè)而設(shè)計(jì)，涉及到生產(chǎn)區(qū)、模塊式區(qū)域，小型或微型環(huán)境。