Ocean Optics Inc 美國海洋光學(xué)是的微型光纖光譜儀制造商，其光譜儀應(yīng)用于各行各業(yè)，涵蓋光電檢測、生物醫(yī)學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境檢測、材料、化學(xué)、膜厚測量、工業(yè)過程控制、照明和顯示等等領(lǐng)域。到目前為止，海洋光學(xué)在*已經(jīng)賣出近十五萬套光譜儀，其光譜儀光譜范圍覆蓋153-2500nm。

NanoCalc 光學(xué)薄膜厚度測量系統(tǒng)

NanoCalc是一種用戶可配置的膜厚測量系統(tǒng)，它利用分光光譜反射儀來精確地測量光學(xué)或非光學(xué)薄膜厚度，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療和工業(yè)生產(chǎn)中。

利用白光干涉測量法的原理，NanoCalc用一個寬波段的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據(jù)這一特性來進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中，不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準(zhǔn)確性。NanoCalc的膜厚測量范圍為1nm到1mm，只要待測材料有一定的透射或反射就能通過NanoCalc進(jìn)行膜厚測量，這些材料包括氧化物、氮化物和保護(hù)膜層等，通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。

1nm以上的金屬膜厚也能測量，只要不是*不透光的。對于已知的系統(tǒng)，3層以內(nèi)的多層膜厚測量可以在不到一秒鐘時間內(nèi)完成。

通常擬合曲線和實際曲線由于干涉會引起一些差異，NanoCalc的算法充分考慮到了這一點，從而可以在比較粗糙的表面進(jìn)行測量。

產(chǎn)品主要優(yōu)勢和特點

• UV/VIS/NIR高分辨率的配置

• 測量準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm

• 可測量極限至10層薄膜

• 膜厚測量Min.可至1nm，Max.可至1mm

• 可測量Min.1nm厚的透明金屬層

• 提供試驗臺及附件用于復(fù)雜外形材料的測量

• 對表面缺陷和光滑度不敏感

• 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫，保證各種材料的精確測量

主要應(yīng)用

• 半導(dǎo)體

• LCD/TFT/PDP

• LED

• 觸摸屏

• 汽車

• 醫(yī)學(xué)

• 太陽能

• 聚合物薄膜

• 眼鏡

型號及參數(shù)：

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品：

LIBS-激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)(MX2500+)