好處

• 測量范圍從 1.3 × 10^-9 至 6.7 × 10^-2 mbar（1 × 10^-9 至 5 × 10^-2 Torr）
• 雙標(biāo)準(zhǔn)長使用壽命氧化釔銥絲
• 一體式主動(dòng)測量儀，內(nèi)置顯示器、設(shè)定點(diǎn)、模擬輸出和標(biāo)準(zhǔn)集成式 RS485 數(shù)字接口
• 帶鍵盤的明亮的數(shù)字 OLED 顯示屏，簡化設(shè)置、操作和編程
• 用戶可編程的設(shè)定點(diǎn)繼電器
• 用戶可編程的顯示器單位：mbar、Torr 或 Pa
• 用戶可選的發(fā)射電流自動(dòng)設(shè)換范圍
• 機(jī)械強(qiáng)度和堅(jiān)固性
• 各種法蘭的選擇
• 易于更換的傳感元件
• 合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、RoHS
• 直接取代 Granville-Phillips^® 354 Micro-Ion^® 模塊 – 包括軟件命令在內(nèi)的相同控制功能 (RS485)

  （Granville-Phillips^® 和 Micro-Ion^® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊商標(biāo)）

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
• 工業(yè)鍍膜
• 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

新聞