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SKY CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

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好處

  • 從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
  • 防腐蝕陶瓷傳感器
  • 的*信號(hào)穩(wěn)定性
  • 溫度補(bǔ)償
  • 傳感器受防污染保護(hù)
  • 一鍵調(diào)零功能
  • 寬范圍電源

典型應(yīng)用

  • 用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備
  • 工業(yè)真空設(shè)備
  • 經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測(cè)量

規(guī)格

類型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
溫度效應(yīng)          
零點(diǎn) percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
壓力,大 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 30 30 30 130 130
低讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建議的低讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建議的低控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
溫度          
運(yùn)行(環(huán)境) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法蘭處烘烤 (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
功耗 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
輸出信號(hào)(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
保護(hù)等級(jí) IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標(biāo)準(zhǔn)          
CE 合規(guī) EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
設(shè)定點(diǎn) (4)          
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn) 30 30 30 30 30
滯后 percent FS 1 1 1 1 1
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
內(nèi)部容積          
1/2'' 管 cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
重量          
1/2'' 管 g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) 非線性,遲滯,在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復(fù)性,2 小時(shí)工作后無溫度影響。

(2) 提高 10 … 90 % FS

(3) 非運(yùn)行

(4) * CDG025D-S

(5) 28% 鎳,23% 鉬,49% 鐵

(6) 18% 鉻,10% 鎳,3% 鉬,69% 鐵

CDG025D PN.png

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

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