對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
需要較高吸氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測試

UL1000Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀  的詳細(xì)介紹

INFICON UL1000 Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過結(jié)合較高氦氣吸氣能力和高進(jìn)氣口壓力的*真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab干式氦質(zhì)譜檢漏儀提供的*的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)?/span> UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 843，方法 1014）。

功能

• 15 級的寬測量范圍
• 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
• 移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
• I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供zui快的泄漏響應(yīng)時(shí)間
• 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
• 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣吸氣能力和高壓縮比
• 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
• 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測試
• 通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
• 含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
• 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果

典型應(yīng)用

• 對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
• 需要較高吸氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
• 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
• 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測試