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日本thermal熱范圍TM3

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日本thermal熱范圍TM3

熱物理特性顯微鏡是一種測量熱效率的設備,熱效率是熱物理特性值之一。
它是一種可以通過點,線和表面來測量樣品的熱性能的設備。
還可以測量微米級的熱物理性質(zhì)分布,這是常規(guī)熱物理性質(zhì)測量裝置所難以做到的。
它是世界上可對熱物理性質(zhì)進行非接觸式和高分辨率測量的設備。
3μm的檢測光斑直徑可實現(xiàn)微小區(qū)域的高分辨率熱物理性質(zhì)測量(點/線/表面測量)。

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日本thermal熱范圍TM3

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日本thermal熱范圍TM3

用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率

熱范圍TM3

特征

  • 熱物理特性顯微鏡是一種測量熱效率的設備,熱效率是熱物理特性值之一。
  • 它是一種可以通過點,線和表面來測量樣品的熱性能的設備。
  • 還可以測量微米級的熱物理性質(zhì)分布,這是常規(guī)熱物理性質(zhì)測量裝置所難以做到的。
  • 它是世界上可對熱物理性質(zhì)進行非接觸式和高分辨率測量的設備。
  • 3μm的檢測光斑直徑可實現(xiàn)微小區(qū)域的高分辨率熱物理性質(zhì)測量(點/線/表面測量)。
  • 由于可以通過改變深度范圍進行測量,因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
  • 您也可以在板上測量樣品。
  • 激光非接觸式測量。
  • 可以檢測薄膜下的裂縫,空隙和剝離。

熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。

  1. 由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的性質(zhì)(熱電阻法),因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強度的變化,來測量表面的相對溫度變化。做。
  2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品,導致表面溫度響應的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱效率。
熱物理顯微鏡的測量原理(概述)

主要規(guī)格

名稱/產(chǎn)品名稱熱物理特征顯微鏡/熱顯微鏡
測量方式熱物理性質(zhì)分布測量(1D,2D,1點)
測量項目熱效率,(熱擴散率),(熱導率)
檢測光斑直徑約3μm
1點測量標準時間10秒
待測薄膜厚度幾百納米到幾十微米
重復精度耐熱玻璃和硅的熱效率小于±10%
樣本1.樣品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 
2.板狀樣品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下
  • 需要對樣品表面進行鏡面拋光。
  • 樣品表面需要進行Mo濺射。
工作溫度極限24°C±1°C(根據(jù)設備中內(nèi)置的溫度傳感器)
平臺移動距離? X軸方向20mm
? Y軸方向20mm
? Z軸方向10mm
激光加熱半導體激光波長:808nm
激光檢測半導體激光波長:658nm
電源交流100V 1.5kVA
標準配件樣品架,參考樣品
選項光學平臺,空調(diào),空調(diào)房,濺射設備
  • 性能和外觀如有更改,恕不另行通知。

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