144nm高分辨2D校準(zhǔn)標(biāo)樣（for AFM、STM、Auger、FIB、SEM）

硅片大小：4*3*0.5mm，圖案由鋁金屬制的（高度大約90nm，寬75nm，此參數(shù)無校準(zhǔn)，注意，其圖案布滿硅片），2D全息陣列，間距144nm，表層噴鍍鎢膜，精確度±1nm。

    提供的產(chǎn)品有兩種：Model 150-2D和Model 150-2DUTC，其中的Model 150-2D校準(zhǔn)標(biāo)樣, 帶有制造商的認(rèn)證, 不可溯源；Model 150-2DUTC校準(zhǔn)標(biāo)樣, 認(rèn)證, 可溯源, 提供證書（PTB,a German counterpart of NIST）。

我們*Model 150-2D，其的特性使應(yīng)用非常方便，標(biāo)樣結(jié)實(shí)耐用，可以在接觸模式掃描，提供快速校準(zhǔn)和測(cè)量：

l  2D模式，X軸和Y軸同時(shí)校準(zhǔn)

l  即使探針鈍化也不影響像對(duì)比度

l  接觸掃描可以得到高對(duì)比度像

l  整片布滿式節(jié)省尋找掃描區(qū)域的時(shí)間

l  不僅僅高倍率應(yīng)用，中等倍數(shù)5 kX時(shí)，單個(gè)圓體仍可清楚分辨

AFM Tapping Mode Scan

SEM Medium Magnification

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