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優(yōu)異的高效分析性能微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 m以下。

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微型采樣系統(tǒng)

優(yōu)異的高效分析性能

微型采樣方法(已在日本和美國(guó)取得)已在半導(dǎo)體器件分析領(lǐng)域成為一款工具，它正迅速向更小制樣方向發(fā)展。僅用一小時(shí)左右即可獲得一個(gè)微小樣品，以便于STEM分析，其定位精度可達(dá)到0.1 µm以下。

  • 特點(diǎn)

  • 系統(tǒng)配置實(shí)例

  • 觀察事例

特點(diǎn)

聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實(shí)例

一個(gè)微柱狀樣品，包含一個(gè)直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來的分析點(diǎn)。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。

系統(tǒng)配置實(shí)例

聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)

新開發(fā)的半導(dǎo)體裝置評(píng)估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對(duì)材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析，只要幾小時(shí)即可完成。

聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用

觀察事例

DRAM 觀察實(shí)例

針尖頂端的微柱狀樣品SEM像

微柱狀樣品的明場(chǎng)STEM像

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

  • 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 (FE-SEM)
  • 透射電子顯微鏡 (TEM/STEM)


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