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超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像,而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)。此外,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了信息獲取量大化的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。接下來請(qǐng)欣賞SU7000帶來的多*。*左圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖

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超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

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超高分辨肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU7000

SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像,而且還可以同時(shí)接收多種信號(hào)。此外,它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多性能。

SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了信息獲取量大化的新型掃描電鏡,可以滿足客戶的多種觀察需求。

接下來請(qǐng)欣賞SU7000帶來的多*。

*
左圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖

  • 特點(diǎn)

  • 規(guī)格

  • 安裝布局

特點(diǎn)

核心理念

  1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
    SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢的樣品。大開倉設(shè)計(jì),標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸大移動(dòng)距離為135×100 mm,重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)*不成問題。

    相機(jī)導(dǎo)航功能(*)

    通過相機(jī)拍攝樣品

          將相機(jī)拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進(jìn)行導(dǎo)航

    SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*),迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉內(nèi),插入樣品后,可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫面(SEM MAP)窗口,因此,用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。大適用尺寸為φ 100 mm。

    (*)
    可選配相機(jī)。

    支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)

    SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí),可以選用PD-BSED(背散射電子探測(cè)器)、UVD、MD等各種探測(cè)器(**)。

    低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
    左圖為通過MD(背散射電子),右圖為通過UVD(二次電子)探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。

    PD-BSED:響應(yīng)速度提高
    左圖是以一般的響應(yīng)速度,約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像;右圖抑制了圖像的漂移,使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高,更適用于In-Situ觀察。

    (**)
    可選配PD-BSED、UVD。

規(guī)格

項(xiàng)目內(nèi)容
圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率20~2,000,000 x
電子槍發(fā)射體ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射(肖特基熱場(chǎng)發(fā)射)
加速電壓0.1~30 kV (步進(jìn):0.01 kV)
束流大200 nA
探測(cè)器標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器UD (上探測(cè)器)
MD (中探測(cè)器)
LD (下探測(cè)器)
選配探測(cè)器*1PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器)
UVD(高靈敏度低真空探測(cè)器 )
低真空模式*1樣品倉壓力范圍5~300 Pa
可使用探測(cè)器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺(tái)馬達(dá)臺(tái)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍X0~135 mm
Y0~100 mm
Z(WD)1.5~40 mm
T(傾斜角)-5~70°
R(旋轉(zhuǎn)角)360°
樣品尺寸大直徑:φ200 mm, 大高度:80 mm
顯示器*123英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏
圖像顯示模式全屏顯示模式1,280×960像素顯示
單屏顯示模式800×600像素顯示
雙屏顯示模式800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
四屏顯示模式640×480像素顯示
六屏顯示模式*2640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存保存圖像尺寸640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件能譜儀(EDX)
X射線波譜儀(WDX)
電子背散射衍射(EBSD)
陰極熒光探測(cè)器(CL)
冷凍傳輸系統(tǒng)
各種功能樣品臺(tái)
*1
為選配項(xiàng)。
*2
支持雙屏顯示。

安裝布局

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
  • TEM/SEM樣品前處理裝置


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