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日本toray氧氣表MS-500

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半導(dǎo)體,電子元件的氧氣分析儀
MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860

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氧氣表MS-500

MS-500

  • 多可以同時測量8個點
  • 可以顯示從ppm級到100%的各種濃度范圍。
  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
  • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
  • 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

MS-500設(shè)備規(guī)格

測量原理氧化鋯濃縮電池供電
形狀分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
顯示方式4位數(shù)字顯示(濃度顯示)
測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
自動范圍
重復(fù)性在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高
±1%FS以下或≤± 
0.1ppm大于0-1ppm的0-1%范圍內(nèi),atm范圍超出了保證的濃度范圍
測量點數(shù)1-8
樣氣條件壓力10 -3至200 KPa(壓力)
流量0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態(tài)的測量)
濕度露點低于環(huán)境溫度
溫度0-100℃
其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣大氣層
記錄儀輸出僅變速箱輸出
變速箱輸出RS-232C
報警輸出沒有
熱身時間6分鐘以內(nèi)
尺寸MS-500(控制器)92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
MS-510(轉(zhuǎn)換器)100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
傳感器單元SD16NW全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
SD25NW全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
SD40NW全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
大量的MS-500(控制器)約0.6Kg
MS-510(傳感器)約0.5kg
傳感器單元SD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
使用電源24VDC±10%

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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手機:18875910180

聯(lián)系人:黃靜雯

電話:0755-21046949

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