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日本ygkcop表面粒子掃描儀YPI-MN

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日本ygkcop表面粒子掃描儀[YPI-MN]
YPI-MN
小型,高性能的晶圓表面檢查裝置
表面粒子掃描儀[YPI-MN]
○○○○○○○○圖片可以測量0.3μm的透明玻璃基板。
可以測量0.15μm的Si晶片。
可測量的尺寸大為200毫米(*適用條件)



SiC / GaN相關(guān)晶圓表面檢測設備。
雙頭SiC表面粒子掃描儀

詳細信息 在線詢價

日本ygkcop表面粒子掃描儀[YPI-MN]

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YPI-MX-ΘDC 

YPI-MN緊湊型高性能晶圓表面檢測設備

緊湊而高性能的晶圓表面檢測設備。表面粒子掃描儀。
新開發(fā)的高性能,節(jié)省空間的類型。
安裝面積為YPI-200的50%。
它是一種緊湊的表面檢查
設備,可以根據(jù)使用模式進行移動,精度高達0.15μm,同時又節(jié)省了空間。
作為可選功能,可以為透明基板安裝前/后分離功能(通過消除后表面的影響來執(zhí)行前表面的測量)。
測量結(jié)果可以通過檢測圖大小,歷史和異物圖像顯示并記錄在附帶的P / C上,并帶有顆粒數(shù)量。
 

設備規(guī)格

工作尺寸
大200 x 200 mm,φ200mm(可提供φ300mm測量* 1
小檢測到的顆粒尺寸(Si PSL裸顆粒)
Si晶圓0.152μm
透明玻璃基板0.3μm(需要可選設備)
激光/檢測單元使用
405 nm(藍色激光)和光電倍增管(PMT)
掃描方式
XY,螺旋掃描
工作提供方法
手動的
設備尺寸(寬x深x高)
W548 x D572 x H962(mm)通過P / C
設備重量
90kg(不含P / C)
電源
AC100V 15A

                   * 1當支持φ300mm時,深度尺寸會改變。

 
到頂部

 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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