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日本ygkcop晶圓表面掃描儀

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晶圓表面掃描儀   
小的半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備
○○○○○○○○圖片可以測(cè)量0.1μm的硅晶片。

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YPI-MX-ΘDC 

YPI-MN

晶圓表面掃描儀小半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備

 
 
小的半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備。
小標(biāo)準(zhǔn)半英寸晶片表面上的異物(顆粒)的高速掃描實(shí)時(shí)顯示在觸摸屏顯示器上。
根據(jù)低規(guī)格檢查顯示/運(yùn)輸操作。
可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作快速掌握晶片的顆粒狀態(tài)。

 

 
小檢測(cè)粒徑為0.1μm。

測(cè)量結(jié)果示例

 

   

 

設(shè)備規(guī)格

掃描方式
螺旋掃描
工作安裝
低標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)運(yùn)輸
能量消耗
AC100V /大10A
小檢測(cè)粒徑
0.1微米
重現(xiàn)性
σ/ X≦10%
測(cè)量時(shí)間
1分鐘以內(nèi),包括運(yùn)輸(測(cè)量重復(fù)性90%或更高)
待檢查的基材
硅片等

 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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