YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
玻璃基板表面檢查裝置/藍(lán)寶石表面檢查裝置YPI-MX系列（自動轉(zhuǎn)移）
于透明玻璃基板的機器，也支持各種背面緞面基板。
傳感器自動對焦機制可實現(xiàn)高度精確的前后分離。

設(shè)備規(guī)格

對應(yīng)板子尺寸

大200mm x 200mm 
（如果需要200mm以上，請與我們聯(lián)系）

掃描方式

XY掃描/Θ-X掃描（螺旋掃描）

吞吐率

 

□200mm（XY）約4分鐘
Φ200mm（Θ）2分鐘以內(nèi)
Φ150mm（Θ）1.5分鐘以內(nèi)
Φ100mm（Θ）1分鐘以內(nèi)

工作安裝

轉(zhuǎn)移機械手（背面吸力/邊緣夾具）

設(shè)備外形尺寸

寬1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米

體重

約1,000kg

能量消耗

約2.0kW（100V）

待檢查的基材

硅晶片，透明玻璃基板，藍(lán)寶石基板，LT晶片，SiC等

低檢測靈敏度

透明玻璃基板0.2μm
硅晶圓0.1μm