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| 美國 Veeco 全自動原子層沉積(ALD)系統(tǒng) |
| Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經有15年以上的ALD研發(fā)生產經驗 2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學，05年搬到Boston并生產出Thermal ALD - Savannah，之后生產出Plasma ALD – Fuji、批量生產ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，并更新了Batch HVM ALD – Firebird。至今為止，Veeco在ALD設備已有15年多的經驗，已安裝五百多臺ALD設備。 |
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