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日本advance桌面型快速退火爐MILA-5050

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日本advance桌面型快速退火爐MILA-5050
Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐,可用于處理φ50mm以內(nèi)的樣品。

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日本advance桌面型快速退火爐MILA-5050

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MILA-5050 桌面型快速退火爐(2inch)

Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐,可用于處理φ50mm以內(nèi)的樣品。
用于處理φ20mm以內(nèi)的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求,Advance Riko在Mila-5000的基礎(chǔ)上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續(xù)了MILA5000的緊湊設(shè)計,是一款集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

應(yīng)用

  • 硅片和復(fù)合圓晶的快速退火
  • 電子材料的快速熱退火,例如光學(xué)CVD的基板
  • 玻璃基板,陶瓷和復(fù)合材料等的熱處理
  • 熱循環(huán)測試
  • 金屬材料的熱退火
  • 涂膜的耐熱性評估
  • 有機材料和樹脂的加熱和干燥

特點

  • 可對φ50mm以內(nèi)的樣品進行熱處理
  • 熱處理溫度1200℃
  • 集成加熱爐,加熱腔及溫控器與一體的桌面型設(shè)計
  • 搭配水冷循環(huán)腔體,可進行潔凈的快速升降溫。
  • 通過USB連接,可將溫控程序輸入到電腦
  • 加熱過程中可通過電腦監(jiān)測溫度數(shù)據(jù);

參數(shù)

控溫范圍RT ~ 1200 °C
升溫速率50 °C/s
樣品尺寸□ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
氣氛真空,流動氣氛

* 可選配件:真空泵
* 加熱溫度or升溫速率根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率,吸收率,熱容和材料而變化。

均勻性測試

  • ① 500℃,Δt = 3.2℃
  • ② 800℃,Δt = 0.6℃
  • ③ 1000℃,Δt = 4.2℃
  • ④ 1200℃,Δt = 2.6℃

樣品安裝(2英寸樣品)

可選配件:SiC包覆的石墨樣品臺 , 石英樣品支架

安裝需求

電源AC200V , 5kW
冷卻水流速≥ 6L/minn
水壓≥0.3Mpa
外形尺寸450(W) x 492(D) x 219(H) mm (不包含突出部分)
重量約 24kg

 

 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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