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日本advance電弧等離子體氣相沉積源 APS-1

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日本advance電弧等離子體氣相沉積源 APS-1
同時(shí)蒸鍍不同的“目標(biāo)”。
通過(guò)在現(xiàn)有的APD系列電弧等離子體納米粒子形成裝置和現(xiàn)有的真空室中增加氣相沉積源,可以同時(shí)氣相沉積不同的“靶”,從而生產(chǎn)具有新特性的材料。

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電弧等離子體氣相沉積源 APS-1

同時(shí)蒸鍍不同的“目標(biāo)”。
通過(guò)在現(xiàn)有的APD系列電弧等離子體納米粒子形成裝置和現(xiàn)有的真空室中增加氣相沉積源,可以同時(shí)氣相沉積不同的“靶”,從而生產(chǎn)具有新特性的材料。

應(yīng)用

  • 利用多個(gè)氣相沉積源生產(chǎn)化合物
  • 在您的真空室中增加

特點(diǎn)

  • 納米粒子的尺寸比以往的濕法更加均勻,因此可以生成高活性的催化劑
  • 納米顆粒的粒徑可從1.5nm到6nm不等
  • 通過(guò)改變氣氛,可以很容易地生成氧化物和氮化物
  • 可沿任意方向安裝ICF070(VG50)凸緣
  • 無(wú)需水冷設(shè)備,易于維護(hù)

參數(shù)

目標(biāo)尺寸φ10mm×長(zhǎng)17mm
基板尺寸2英寸(50mm)
成膜速度0.01 nm/s ~ 0.3 nm/s *1
膜厚分布對(duì)于Fe:< ±10%(φ20mm區(qū)域)*1
成膜材料一般導(dǎo)電材料*2

*1 目標(biāo)到電路板距離80mm時(shí)
*2 靶比電阻0.01歐姆或更小

動(dòng)作圖像

實(shí)用程序

設(shè)備配置圖

  • 電源:單相AC200V±10%2kVA
  • 尺寸
  • ? 電容器盒:W110×D320×H200(mm)
  • ? 真空部:φ34×L200(mm)
  • ? 電源:W 200×D 360×H 200(mm)
  • ? 控制器:W 240×D 400×H 200(mm)

※電源和控制器安裝在機(jī)架中

參考圖像

  • 碳粉攜帶Pt納米粒子的TEM圖像
    在碳的凹凸不平的表面上均勻地進(jìn)行氣相沉積。
  • 聚集納米顆粒
    隨著鏡頭數(shù)的增加,聚集開始。
  • 薄膜(連續(xù)晶格圖像)
    納米顆粒被層壓以形成納米薄膜。

擴(kuò)展示例

實(shí)施例1 增設(shè)至真空室
例2本公司裝置增設(shè)到APD-1P

表1目標(biāo)使用結(jié)果表

 1A2A3A4A5A6A7A81B2B3B4B5B6B7B0
1H He
2LiBe BCNOFNe
3NaMg AlSiPSClAr
4KCaScTiVCrMnFeCoNiCuZnGaGeAsSeBrKr
5RbSrYZrNbMoTcRuRhPdAgCdInSnSbTeIXe
6CsBaLanthanoidHfTaWReOsIrPtAuHgTIPbBiPoAtRn
7FrRaActinoid               

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深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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  • 使用方法說(shuō)明書、售后服務(wù)
  • 其他
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