日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT
排氣→涂層（蝕刻）→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣
盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡單型）
全自動(dòng)濺射設(shè)備，操作簡便，重現(xiàn)性高
配備涂層/蝕刻模式

日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT

日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT

日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT

特征 排氣→涂層（蝕刻）→全自動(dòng)，直到進(jìn)入大氣 盡管是緊湊型，但仍可以進(jìn)行膜厚控制（簡單型） 全自動(dòng)濺射設(shè)備，操作簡便，重現(xiàn)性高 配備涂層/蝕刻模式   應(yīng)用/結(jié)果示例 各種設(shè)備的電極膜附件 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用   基本規(guī)格 陰極 φ2英寸/ 2極電極 濺射靶 包含金靶 蝕刻目標(biāo) 包括Al目標(biāo) 膜厚設(shè)定方法 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 氣體導(dǎo)入機(jī)制 針閥 真空泵 直連式旋轉(zhuǎn)泵：20l / min（帶自動(dòng)泄漏） 排氣操作 自動(dòng)的 箱體尺寸 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm（SUS制） 樣品交換方法 前門開合式 尺寸（寬/深/高） 主體：225/420 / 320mm  RP：300/160 / 200mm 重量 身體：15公斤 RP：9公斤