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日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT

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日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT
排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進(jìn)入大氣
盡管是緊湊型,但仍可以進(jìn)行膜厚控制(簡單型)
全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高
配備涂層/蝕刻模式

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日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT

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日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701AT

 

 

特征

  • 排氣→涂層(蝕刻)→全自動,直到進(jìn)入大氣
  • 盡管是緊湊型,但仍可以進(jìn)行膜厚控制(簡單型)
  • 全自動濺射設(shè)備,操作簡便,重現(xiàn)性高
  • 配備涂層/蝕刻模式
 

應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 各種設(shè)備的電極膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用
 

基本規(guī)格

陰極φ2英寸/ 2極電極
濺射靶包含金靶
蝕刻目標(biāo)包括Al目標(biāo)
膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體導(dǎo)入機(jī)制針閥
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏)
排氣操作自動的
箱體尺寸內(nèi)徑φ120mm x D120 mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)主體:225/420 / 320mm 
RP:300/160 / 200mm
重量身體:15公斤
RP:9公斤
 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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手機(jī):18875910180

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電話:0755-21046949

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  • 其他
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