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日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701MC

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日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701MC
使用磁控管陰極以減少離子損傷
排氣→涂層→全自動,直到進(jìn)入大氣
磁控管陰極有助于生產(chǎn)高質(zhì)量的濺射薄膜
電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆

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日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701MC

日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701MC

日本electron臺式快速涂布機(jī)SC-701MC

 

 

特征

  • 使用磁控管陰極以減少離子損傷
  • 排氣→涂層→全自動,直到進(jìn)入大氣
  • 磁控管陰極有助于生產(chǎn)高質(zhì)量的濺射薄膜
  • 電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆
 

應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 各種設(shè)備的電極膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用
 

基本規(guī)格

陰極φ2英寸直流磁控管/ 2極面對電極
目標(biāo)包含金靶
膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體導(dǎo)入機(jī)制針閥
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏)
排氣操作自動的
箱體尺寸內(nèi)徑φ120mm x D120 mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)主體:225/420 / 320mm 
RP:300/160 / 200mm
重量身體:15公斤
RP:9公斤
 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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