SOLLAS是WOP專門為硅基太陽能電池行業(yè)開發(fā)的激光加工機(jī)床，配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器，具有多任務(wù)操作功能，用于工業(yè)和研究，產(chǎn)能3MW/a。

光伏電池激光加工優(yōu)勢：

· 晶圓更薄

· 破損率更低

· 精密深度控制

· 飛秒激光冷加工

· 參數(shù)調(diào)整，促進(jìn)生產(chǎn)開發(fā)

· 選擇性刻蝕（根據(jù)不同材料控制能量傳遞）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 工業(yè)研究生產(chǎn)線產(chǎn)量2.5 MW/a

· 飛秒紫外和納秒紅外激光源

· 機(jī)器視覺系統(tǒng)探測旋轉(zhuǎn)和調(diào)整激光掃描區(qū)域

· 使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制

· 5”和6”晶圓加工

· 生產(chǎn)模式下直觀的觸摸屏用戶使用界面（SCA工程設(shè)計(jì)）

· 研究模式下全功能軟件（SCA工程設(shè)計(jì)）

SOLLAS 執(zhí)行4項(xiàng)工藝：

· 選擇性刻蝕SiNx/SiO2

· 后觸點(diǎn)激光燒制

· 邊緣絕緣處理

· 激光標(biāo)刻

· 可行性測試后整合其他加工過程

應(yīng)用舉例：

晶圓加工

使用UV飛秒激光脈沖刻蝕單晶圓上SiNx