PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過測量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜，實(shí)時監(jiān)測反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度；由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計算得出電子溫度。測量輸出結(jié)果，可反饋控制等離子體的發(fā)生，從而獲得優(yōu)質(zhì)的反應(yīng)流程和效果。

PlasCalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括：高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監(jiān)控裝置及測量分析軟件。

PlasCalc應(yīng)用于測量等離子體鍍膜沉積情況，監(jiān)測等離子濁刻，檢查表面清潔處理，分析等離子反應(yīng)腔控制情況，監(jiān)測異常污染排放現(xiàn)象，磁控濺射、光學(xué)鍍膜、終點(diǎn)測量、開發(fā)等離子過程的監(jiān)測和控制優(yōu)化。

相關(guān)產(chǎn)品*：

色度計（ADMESY）

SOLAR公司的波長計SHR、SHR-IR波長計

積分球（Labsphere）

溫控支架（Quantum Northwest）