NS3800三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3800是一種精確、可靠的三維(3D)測(cè)量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過(guò)快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測(cè)量和檢測(cè)微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導(dǎo)體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面擁有*的解決方案。
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：
高分辨無(wú)損傷光學(xué)3D測(cè)量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測(cè)
實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像 無(wú)樣品準(zhǔn)備
自動(dòng)聚焦
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
NS-3500是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。
可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導(dǎo)體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測(cè)，CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè)，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽(yáng)能電池，太陽(yáng)能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測(cè)，粗糙度，裂紋分析
Dimension(尺寸）：
Specification (規(guī)格）：
Model | Microscope NS-3800 | 備注 |
物鏡倍率 | 10x | 20x | 50x | 100x |
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觀察/ 測(cè)量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 |
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垂直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 |
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工作范圍: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 |
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數(shù)值孔徑(N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 |
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光學(xué)變焦 | x1 to x6 |
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總放大倍率 | 178x to 26700x |
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觀察/測(cè)量光學(xué)系統(tǒng) | 針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng) |
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高度測(cè)量 | 測(cè)量掃描范圍 | Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800L] | 注 1 |
| Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800D] |
Fine scan : 200 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800T] |
顯示分辨率 | 0.001 μm |
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重復(fù)率 σ | 0.010 μm | 注 2 |
寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.001 μm |
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重復(fù)率 3σ | 0.02 μm | 注 3 |
幀記憶 | 像素 | 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
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單色圖像 | 12 bit |
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彩色圖像 | 8-bit for RGB each |
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高度測(cè)量 | 16 bit |
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幀速率 | 表面掃描 | 20 Hz to 160 Hz |
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線掃描 | ~8 kHz |
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自動(dòng)功能 | 自動(dòng)增益 |
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激光共焦測(cè)量光源 | 波長(zhǎng) | 405nm |
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輸出 | ~2mW |
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激光等級(jí) | Class 3b |
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激光接收元件 | PMT (光電倍增管) |
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光學(xué)觀察光源 | 燈 | 10W LED |
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光學(xué)觀察照相機(jī) | 成像元件 | 1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 |
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記錄分辨率 | 640x480 |
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自動(dòng)調(diào)整 | 增益, 快門(mén)速度, White balance |
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數(shù)據(jù)處理單元 | PC |
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電源 | 電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
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電流 | 500 VA max. |
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重量 | 顯微鏡 | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
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控制器 | ~8 kg |
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隔振系統(tǒng) | 氣浮隔振系統(tǒng) | Option |
注1:精細(xì)掃描由壓電執(zhí)行器（PZT）執(zhí)行。
注2 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品（步長(zhǎng)1μm）進(jìn)行100次測(cè)量。
注 3 :以100×/ 0.95物鏡對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品（5μm間距）進(jìn)行100次測(cè)量。
