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X射線光電子能譜儀

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業(yè)界功率的600W單色化AlKαX射線源

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業(yè)界功率的600W單色化Al Kα X射線源,確保的分析靈敏度

平均半徑165mm的雙層能量分析器,確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像

的浸入式磁透鏡技術(shù),大幅度提高分析靈敏度

的快速平行X光電子實(shí)時(shí)成像,空間分辨率優(yōu)于3μm,像素65,536(256×256),可進(jìn)行微區(qū)元素和化學(xué)態(tài)空間分布分析

的同軸超低能無(wú)陰影單電子源荷電中和器,解決絕緣體XPS分析

的二維陣列延遲線檢測(cè)器(Delay-Line Detector),同時(shí)記錄光電子的強(qiáng)度和發(fā)射位置,可實(shí)現(xiàn)在數(shù)秒鐘之內(nèi)獲得高能量分辨XPS譜

全自動(dòng)超大樣品臺(tái),可實(shí)現(xiàn)100mm×100mm的大樣品分析

能量分辨率優(yōu)于 0.45eV(Ag 3d5/2)
常規(guī)分析能量分辨和靈敏度高達(dá)0.55eV@1.1Mcps(Ag 3d5/2)

絕緣體分析的分析能量分辨和靈敏度高達(dá)0.68eV@16kcps(PET的C 1s)

選配單色化Al/Ag雙陽(yáng)極X射線源,實(shí)現(xiàn)高能XPS分析

結(jié)合了數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理的Vision軟件,可運(yùn)行于Windows XP/Vista/7等多種平臺(tái)下,實(shí)現(xiàn)各真空室真空度實(shí)時(shí)顯示,操控真空閥門(mén)開(kāi)關(guān),實(shí)驗(yàn)條件設(shè)定和全自動(dòng)無(wú)人值守分析等強(qiáng)大功能


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