沉積速率監(jiān)測(cè) 分子束質(zhì)譜儀采用三級(jí)濾過四極桿質(zhì)譜儀，適于分子束和多源分子束研究和MBE監(jiān)測(cè)。

沉積速率監(jiān)測(cè) 分子束質(zhì)譜儀

應(yīng)用：
• MBE 監(jiān)測(cè)和控制
• 分子束研究
• 多束源分析
• 高性能殘余氣體研究
• 脫附 / 除氣研究/烘烤周期
• 容器、過程氣體污染物分析
沉積速率監(jiān)測(cè) 分子束質(zhì)譜儀特點(diǎn)：
• 靈敏度高, 檢測(cè)范圍從100% 至5ppb,質(zhì)量數(shù)范圍至510 amu.
• 長期穩(wěn)定性(24h以上，峰高變化小于±0.5%).
• 交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈 +/- 35°
• 離子源控制，用于軟離子化和表觀電勢(shì)質(zhì)譜
• 靈敏度增強(qiáng)用于大質(zhì)量數(shù)的傳輸，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)范圍列表
• 2mm 束接受孔， 也可為特殊使用者配置
• 一級(jí)過濾處增加射頻，抗污染物能力增強(qiáng)。
• 內(nèi)置UHV 兼容的水冷卻罩
• 分子束研究中，檢測(cè)極限低至30 ions / s
• 監(jiān)測(cè)生長速率1? / min，或更低
• Windows™ 界面的MASsoft軟件通過RS232、RS485 或以太網(wǎng)控制