Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀是一臺結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。

Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀應(yīng)用：

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合，即在操作中遵從電極設(shè)定條件
· 通過視口、接地電極和驅(qū)動電極進(jìn)行分析

Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀特點：

· 軟件控制的離子汲取光學(xué)系統(tǒng)，以使等離子體擾動z小
· 45°靜電扇區(qū)分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
· 所有能量范圍內(nèi)，離子行程的z小擾動，及恒定離子傳輸
· 帶差式泵的三級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
· 高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器，有7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
· 可調(diào)諧的離子源，用于電子附著選件的表觀電勢質(zhì)譜分析
· Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
· 信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時間的變化
· 1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft。