硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級(jí)的硅氫化合物，通式為SinH2n+2。其中，甲硅烷最為常見，有時(shí)也將甲硅烷簡稱為硅烷。
硅烷的又一應(yīng)用是非晶半導(dǎo)體非晶硅。與單晶半導(dǎo)體材料相比非晶硅的特點(diǎn)是容易形成極薄的(厚度10nm左右)大面積器件，襯底可以是玻璃、不銹鋼、甚至塑料，表面可以是平面也可是曲面，因此可以制成各種性能優(yōu)異的器件。
硅烷已成為半導(dǎo)體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體, 用于各種微電子薄膜制備, 包括單晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金屬硅化物等。硅烷的微電子應(yīng)用還在向縱深發(fā)展: 低溫外延、選擇外延、異質(zhì)外延。不僅用于硅器件和硅集成電路，也用于化合物半導(dǎo)體器件（砷化鎵、碳化硅等）。在超晶格量子阱材料制備中也有應(yīng)用。可以說現(xiàn)代幾乎所有先進(jìn)的集成電路的生產(chǎn)線都需用到硅烷。硅烷的純度對(duì)器件性能和成品率關(guān)系極大，更高級(jí)的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。
硅烷作為含硅薄膜和涂層的應(yīng)用已從傳統(tǒng)的微電子產(chǎn)業(yè)擴(kuò)展到鋼鐵、機(jī)械、化工和光學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。含硅涂層可使普通鋼的高溫耐氧化能力提高到10萬倍以上,也可使其它金屬的高溫化學(xué)穩(wěn)定性大大改善，使內(nèi)燃機(jī)葉片的耐蝕性明顯增強(qiáng)，使各種材料和零件之間的粘結(jié)強(qiáng)度大幅度提高，使汽車發(fā)動(dòng)機(jī)零件的壽命延長，也可改變玻璃的反射和透射性能，從而得到顯著的節(jié)能和裝飾效果。在浮法玻璃生產(chǎn)過程中用硅烷在玻璃表面涂敷一層反光層其粘附力在長期陽光照射下不褪色, 透光率只有普通玻璃的1/3; 用氮化硅涂敷的大面積多晶硅電池（BSNSC) 已達(dá)到15.7%的高效率。用硅烷氣相沉積技術(shù)制造各種含硅薄膜在高技術(shù)中的應(yīng)用還在與日俱增。
硅烷還有一潛在應(yīng)用是制造高性能陶瓷發(fā)動(dòng)機(jī)零件尤其是使用硅烷制造硅化物（Si3N4, SiC等) 微粉技術(shù)越來越受重視。美、日等國正在花成億美元開發(fā)用硅、氮化硅和碳化硅微粉制造耐高溫、高強(qiáng)度、高化學(xué)穩(wěn)定性陶瓷。使用硅烷氣相反應(yīng)的方法制備的微粉純度最高, 粒度細(xì)而勻, 可使陶瓷零部件性能大大提高。其應(yīng)用領(lǐng)域極廣，例如汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的閥門和透平增壓器轉(zhuǎn)子已實(shí)用化，高速軸承和高性能刀具已商品化，用于內(nèi)燃機(jī)可使工作溫度高達(dá)1400℃, 大大提高熱機(jī)效率，適用多種燃料，延長使用壽命，此外還可作為火箭的隔熱瓦和隱身保護(hù)層。
一、在線式防爆型0-100ppm硅烷SIH4氣體檢測(cè)儀概述
SGA-501系列在線式防爆型硅烷氣體檢測(cè)儀是深國安運(yùn)用十多年技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，自主研發(fā)生產(chǎn)的一款功能強(qiáng)悍、外觀新穎、品質(zhì)的工業(yè)級(jí)硅烷氣體檢測(cè)儀表；實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)，超標(biāo)自動(dòng)聲光報(bào)警，還可通過內(nèi)置繼電器自動(dòng)聯(lián)動(dòng)設(shè)備，排除險(xiǎn)情；并支持4-20mA電流信號(hào)或RS485數(shù)字信號(hào)遠(yuǎn)傳，溫濕度功能選配；SGA-501系列硅烷氣體檢測(cè)儀采用深國安典型的家族式“盾形”外觀設(shè)計(jì), GB50493-2009《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測(cè)報(bào)警設(shè)計(jì)規(guī)范》研發(fā)生產(chǎn)，并取得相關(guān)的CPA型式批準(zhǔn)證書、國家防爆證和第三方計(jì)量證書。
SGA-501系列在線式防爆型硅烷氣體檢測(cè)儀采用工業(yè)級(jí)鋁合金防爆外殼，堅(jiān)固耐用；2.4英寸超大屏幕，顯示目標(biāo)氣體、濃度、單位、指示燈工作狀態(tài)等各項(xiàng)參數(shù)；中英文、繁體，操作界面，適合所有人群；強(qiáng)大聲光報(bào)警功能，三級(jí)報(bào)警點(diǎn)自由設(shè)置，當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時(shí)，自動(dòng)發(fā)出85dB以上的報(bào)警聲響。同時(shí)支持一鍵消音；強(qiáng)大的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，客戶可通過有線或無線連接，將數(shù)據(jù)打印或?qū)С觯粐庑酒?，精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)、誤差率低；多種信號(hào)傳輸，兼容90%以上廠家的氣體報(bào)警控制器、PLC、DCS、DDC等上位機(jī)系統(tǒng)；全量程溫濕度補(bǔ)償，32位納米級(jí)微處理器+24位超高ADC采集芯片，確保產(chǎn)品在長期運(yùn)行過程中的數(shù)據(jù)穩(wěn)定；
二、在線式防爆型0-100ppm硅烷SIH4氣體檢測(cè)儀特點(diǎn)
◆友好人機(jī)界面，展現(xiàn)各項(xiàng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)
2.4英寸高清液晶彩屏，實(shí)時(shí)顯示檢測(cè)氣體、檢測(cè)單位、檢測(cè)濃度值、溫度、濕度、報(bào)警記錄等信息
氣體安全系數(shù)與顏色預(yù)警法相結(jié)合，通過可視化的顏色管理來提醒相應(yīng)的安全系數(shù)
◆反應(yīng)靈敏、測(cè)量精準(zhǔn)、精確度高
深國安采用32位處理芯片，可以精準(zhǔn)識(shí)別到可媲美分析儀級(jí)別的ppb濃度
深國安100%選用國外氣體傳感器，極大地保障了產(chǎn)品安全性和穩(wěn)定性
◆檢測(cè)單位自由切換，檢測(cè)量程可大可小
深國安支持切換的單位有PPM、PPB、%LEL、%VOL、mg/m3、ug/m3、g/m3、g/l、mol/mol、umol/mol等
檢測(cè)量程可根據(jù)實(shí)際需求，將濃度單位擴(kuò)大或縮小
◆多種信號(hào)輸出可選，傳輸多樣化
深國安提供有線遠(yuǎn)程方式有：RS485、RS232、4-20mA、0-5V、以太網(wǎng)口等
深國安提供無線遠(yuǎn)程方式有：WIFI、ROLA、ZIGBEE、NOB-LOT、GPRS、藍(lán)牙等
◆采樣方式靈活多變，兼容性強(qiáng)
深國安設(shè)計(jì)，一個(gè)氣室可自然擴(kuò)散式采樣，也可管道式采樣，還可泵吸式主動(dòng)采樣
◆AI監(jiān)測(cè)，智能聯(lián)動(dòng)、安全無憂
AI智能監(jiān)測(cè)，超標(biāo)自動(dòng)聲光報(bào)警、提醒人員安全撤離
內(nèi)置2組無源觸點(diǎn)繼電器，達(dá)到預(yù)設(shè)報(bào)警點(diǎn)時(shí)智能啟停相關(guān)聯(lián)動(dòng)裝置，自動(dòng)排除險(xiǎn)情
◆大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，記錄安全每一刻
自動(dòng)存儲(chǔ)開機(jī)時(shí)間、關(guān)機(jī)時(shí)間、故障記錄和報(bào)警記錄等信息
支持10萬條以上數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
存儲(chǔ)間隔時(shí)間可在1-600秒之間任意設(shè)置
◆嚴(yán)苛環(huán)境，應(yīng)對(duì)自如
防爆外殼，防爆等級(jí)：ExdⅡCT6 Gb
氣室設(shè)計(jì)，防護(hù)等級(jí)高：IP66
四、在線式爆型硅烷氣體檢測(cè)儀行業(yè)應(yīng)用
石油石化、化工廠、冶煉廠、鋼鐵廠、煤炭廠、熱電廠、自來水廠、醫(yī)藥車間、煙草公司、大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、科研院校、樓宇建設(shè)、消防報(bào)警、污水處理、工業(yè)過程化控制、鍋爐房、垃圾處理廠、地下隧道、輸油管道、加氣站、地下管網(wǎng)檢修、室內(nèi)空氣質(zhì)量檢測(cè)、食品加工、殺菌消毒、冷凍倉庫、農(nóng)藥化肥、殺蟲劑生產(chǎn)等。
