SJ6000激光干涉無損檢測儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干rao能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達(dá)到納米級,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

激光干涉儀是一個(gè)交流測試系統(tǒng)，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強(qiáng)，精度高，測量結(jié)果可靠，在精度高要求的芯片光刻機(jī)、計(jì)量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。中圖儀器SJ6000激光干涉無損檢測儀在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

應(yīng)用

數(shù)控機(jī)床的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。

對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

SJ6000激光干涉無損檢測儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干rao能力的情況下還具有非常高的精度，其分辨率可以達(dá)到納米級,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

與不同光學(xué)附件結(jié)合，SJ6000激光干涉儀可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來源；而且測量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo)，目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都推薦使用激光干涉儀。因此，可以說用激光干涉儀檢測機(jī)床各項(xiàng)誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。