激光干涉儀主要用途是測(cè)量目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，即目標(biāo)的線(xiàn)性位移大小、直線(xiàn)度、垂直度、旋轉(zhuǎn)角度（滾轉(zhuǎn)、俯仰和偏擺）、兩個(gè)目標(biāo)在運(yùn)動(dòng)的平行性（度）、平面度等。不管是數(shù)控機(jī)床的導(dǎo)軌還是光刻機(jī)的機(jī)臺(tái)，不管是飛行物還是京植物的變形、熱膨脹，都要用到高精度激光干涉儀的測(cè)量，得到目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。如精密機(jī)械設(shè)備、各類(lèi)機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、機(jī)器人、線(xiàn)性位移平臺(tái)、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量。
中圖儀器
sj6000激光干涉儀器的主要的應(yīng)用之一就是機(jī)床精度檢測(cè)。可以通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量。其線(xiàn)性定位測(cè)量的精度是0.5ppm，可以滿(mǎn)足現(xiàn)在所有類(lèi)型數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)，它可以棄普通車(chē)間進(jìn)行應(yīng)用，具有更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，配以相應(yīng)元件后還可以測(cè)量角度、線(xiàn)速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。
SJ6000激光干涉儀搭配不同的鏡組還可以實(shí)現(xiàn)機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、直線(xiàn)度、平行度、垂直度、偏擺角度等幾何精度測(cè)量。
應(yīng)用：檢測(cè)五軸機(jī)床旋轉(zhuǎn)軸精度
測(cè)量系統(tǒng)：激光頭+角度干涉鏡+角度反射鏡
旋轉(zhuǎn)軸的角度反射鏡是安裝在轉(zhuǎn)臺(tái)組件上，該組件可以繞中心自身旋轉(zhuǎn)。在測(cè)量時(shí)，待測(cè)的旋轉(zhuǎn)軸向正方向旋轉(zhuǎn)某一個(gè)角度后，轉(zhuǎn)臺(tái)組件會(huì)沿著其逆方向精確地旋轉(zhuǎn)該角度，例如待測(cè)軸沿正方向旋轉(zhuǎn)15°，由于誤差的存在，則可能旋轉(zhuǎn)（15+ Δ）°；此時(shí)，轉(zhuǎn)臺(tái)組件會(huì)沿著逆方向精確旋轉(zhuǎn)，即沿負(fù)方向精確旋轉(zhuǎn) 15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對(duì)著激光頭。而誤差 Δ就是旋轉(zhuǎn)軸的定位誤差。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體：
采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；
采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；
采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；
采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干rao能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；
采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。
SJ6000
sj6000激光干涉儀器以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，是高精度、高靈敏度測(cè)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于機(jī)床、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器、三坐標(biāo)、自動(dòng)化設(shè)備、線(xiàn)性位移平臺(tái)等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量。
