NIST SRM 1010a 微拷貝分辨率測試圖標(biāo)準(zhǔn)品旨在用于確定攝影行業(yè)中顯微系統(tǒng)的分辨能力。

NIST SRM 1010a 微拷貝分辨率測試圖標(biāo)準(zhǔn)品旨在用于確定攝影行業(yè)中顯微系統(tǒng)的分辨能力。它旨在滿足 ISO 2 號測試圖表的一般要求，如 ISO 3334: 1989 [1] 中所述。此 SRM 由五個(gè)相同的圖表組成，帶有 26 個(gè)圖案，印在具有光澤表面的白色相紙上。每個(gè)圖表標(biāo)稱 90 毫米寬 x 113 毫米高。

測試圖表圖案描述：

圖案由白色背景上的黑色條組成，條的長度是其寬度的 24 倍，條和空格的寬度相等。圖案的空間頻率范圍為 1 個(gè)周期/mm 到 18 個(gè)周期/mm。每個(gè)圖案由兩組五根雙杠組成；兩組中的酒吧彼此垂直。與每個(gè)圖案相關(guān)的數(shù)字是該圖案上的周期數(shù)/毫米。

NIST 測量技術(shù)：

所有 NIST SRM 1010a 微拷貝分辨率測試圖標(biāo)準(zhǔn)品測試圖均由一個(gè)主負(fù)片制成。最初，該批次中 25% 的測試圖表分別通過測量顯微鏡和反射密度計(jì)進(jìn)行水平和垂直觀察測量的評估。 1998 年，隨機(jī)測量了五個(gè)從剩余庫存中選擇 SRM 單元。使用定制的空氣軸承支持的 X-Y 坐標(biāo)機(jī)，使用超高精度顯微鏡和激光干涉儀定位臺重新測量線寬、線長、空間寬度和相對密度。系統(tǒng)的 X-Y 坐標(biāo)精度大于 40 nm。還使用標(biāo)準(zhǔn)測量顯微鏡和使用帶有校準(zhǔn)刻度的手動(dòng)模式的 X-Y 坐標(biāo)機(jī)檢查測量結(jié)果。

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