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attoFPS 皮米精度位移激光干涉器

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attocube公司生產(chǎn)的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業(yè)和科研需要,其緊湊的設計和穩(wěn)定性可以在環(huán)境中使用,在*的位移測量范圍內,達到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率,應用范圍遍及閉環(huán)掃描器校準、樣品或模塊位移、加工業(yè)、引擎位移探測等領域。

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皮米精度位移激光干涉器 - attoFPSensor

attocube公司生產(chǎn)的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業(yè)和科研需要,其緊湊的設計和穩(wěn)定性可以在環(huán)境中使用,在*的位移測量范圍內,達到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率,應用范圍遍及閉環(huán)掃描器校準、樣品或模塊位移、加工業(yè)、引擎位移探測等領域。

+ 簡單易用,attoFPSensor自動軟件控制與校準

+ 測量速度快,attoFPSensor定位樣品采樣帶寬10MHz,分辨率25pm

+ 實時數(shù)據(jù)采集界面,attoFPSensor利用Ethernet或HSSL實現(xiàn)定位數(shù)據(jù)的實時輸出

+ 多軸同時測量,attoFPSensor配有獨立的三軸定位器,允許同時位移測量、數(shù)據(jù)處理、和定位輸出

+ 精確度*,attoFPSensor鎖定分子吸附頻率做參考值,得到的定位信息具有測量學意義

+ 世界上zui小體積的位移測量干涉器,15mm直徑和12mm長

長時間使用仍可保持picometer穩(wěn)定度和精度探測目標振動簡單可靠


attoFPSensor具有*的信號穩(wěn)定性,如上圖時間與位移變化的關系所示:

在20mm工作距離下,其2σ為0.286nm

在70mm工作距離下,其2σ為0.530nm;

在120mm工作距離下,其2σ為1.035nm


attoFPSensor不僅是功能強大的實時位移探測設備,而且它還是一個振動器。上圖是測量attocube位移器ANPxyz得到的結果。

attoFPSensor技術特點attoFPSensor*優(yōu)勢

+ 多維度位移干涉器

+ 完備的系統(tǒng)配置

+ 實時數(shù)字化界面

+ 高速FPGA控制單元

+ 10MHz采樣速率

+ zui大1m/s樣品位移速率,可選配更快速率

+ 基于單模光纖的探測器

+ 兼容真空與環(huán)境

+ 高帶寬位移探測

+ 閉環(huán)位移控制

+ MHz范圍內的振動測量

+ 目標樣品熱負載<75uW

+ 探測器無需進行電子器件鏈接

+ 工業(yè)化設計

+ 極其可靠與穩(wěn)定


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