布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500是世界上全面的快速,非接觸式3D表面計(jì)量自動(dòng)化臺(tái)式系統(tǒng)。該系統(tǒng)集成了布魯克專有的自動(dòng)傾斜光學(xué)測(cè)頭,可以*編程并自動(dòng)測(cè)試一定角度范圍內(nèi)的表面特征,并能減少跟蹤誤差。
滿足計(jì)量要求,具有高Z軸分辨率和準(zhǔn)確性,并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀落地式型號(hào)所有業(yè)界*的優(yōu)點(diǎn)。
借助其新的USI通用掃描模式,本產(chǎn)品可以輕松地針對(duì)各種復(fù)雜應(yīng)用場(chǎng)景定制分析方法。這些場(chǎng)景涵蓋了從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝制程,到眼科和MEMS器件的R&D表征。
布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500
高級(jí)自動(dòng)化功能
專有的自動(dòng)傾斜測(cè)頭為生產(chǎn)和監(jiān)測(cè)提供了靈活性。通過(guò)將自動(dòng)傾斜測(cè)頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上,布魯克實(shí)現(xiàn)了測(cè)試位置不受傾斜角度影響的測(cè)量。進(jìn)一步結(jié)合自動(dòng)樣品臺(tái)和物鏡塔臺(tái),使得ContourX-500非常適合“按需測(cè)量”工業(yè)要求,且占用空間小。
先進(jìn)的臺(tái)式三維形貌計(jì)量設(shè)備
與放大倍率無(wú)關(guān)的Z軸分辨率
自動(dòng)化功能,包含帶編碼器的XY軸樣品臺(tái)、自動(dòng)測(cè)頭傾斜和自動(dòng)亮度調(diào)整
更緊湊的氣動(dòng)減震臺(tái)設(shè)計(jì)
測(cè)量與分析功能
易于使用的界面,可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果
廣泛的自動(dòng)化功能,可量身定制測(cè)量和分析程序
*泛的濾鏡和分析工具
滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告