白光干涉,作為一種廣泛應(yīng)用的三維表面形貌測(cè)量技術(shù),其縱向分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)別。
視場(chǎng)內(nèi)信息采集與數(shù)據(jù)處理同時(shí)進(jìn)行,大面積區(qū)域的高度信息采集時(shí)間短。
多用于科學(xué)研究與質(zhì)量管理領(lǐng)域,典型應(yīng)用包括不同表面粗糙度樣品的三維表面形貌測(cè)量(如晶片結(jié)構(gòu)、鏡面、玻璃與金屬)、臺(tái)階高度測(cè)定和曲面精度測(cè)量(如微型透鏡)。
SmartWLI系列白光干涉三維輪廓儀創(chuàng)新性地整合白光干涉技術(shù),自主研發(fā)的SmartWLI 軟件可以對(duì)整個(gè)測(cè)量過(guò)程進(jìn)行監(jiān)測(cè)與控制。
其核心算法基于GBS*研發(fā)與測(cè)量經(jīng)驗(yàn),具備高效、穩(wěn)定、精度高等特點(diǎn)。
技術(shù)優(yōu)勢(shì):
-非接觸
-納米級(jí)精度
-測(cè)量時(shí)間短
-性能可靠
結(jié)構(gòu):
LED光源(軟件控制)
壓電馬達(dá),用于垂直方向物鏡移動(dòng),范圍400μm
控制盒
CCD攝像頭(1624 x 1234 像素)GigE接口
PC機(jī)或筆記本電腦 Win7系統(tǒng),NVIDIA GPU 用于超快數(shù)據(jù)處理,液晶顯示器,鍵盤(pán),鼠標(biāo)
GBS公司開(kāi)發(fā)SmartWLI軟件,用于形貌測(cè)量及通過(guò)直接接口輸出三維數(shù)據(jù)進(jìn)入MountainsMap圖片形貌圖片處理軟件,包括文件編制MountainsMap圖片形貌軟件,用于圖片處理,數(shù)據(jù)分析與生成報(bào)告。
技術(shù)參數(shù):
應(yīng)用領(lǐng)域:
-表面形貌和粗糙度測(cè)定
-2D顯微鏡升級(jí)為3D顯微鏡
-曲面精度測(cè)量
配件:
為實(shí)現(xiàn)樣品表面三維形貌的高精度(納米級(jí))測(cè)量要求,輪廓儀需配合防震臺(tái)使用。GBS公司*ACCURION I4主動(dòng)式(充氣)防震臺(tái)來(lái)降低測(cè)量過(guò)程中的震動(dòng)噪聲影響。
MountainsMAP®表面分析軟件與三維可視化測(cè)量報(bào)告
作為一款高品質(zhì)的表面成像與分析軟件,MountainsMAP®適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及工廠各類(lèi)機(jī)能表面的設(shè)計(jì)、測(cè)試或制造設(shè)備使用。
MountainsMAP®擁有一整套全面的解決方案,于表面外觀及形貌的成像與分析,提供詳盡的三維可視化測(cè)量報(bào)告。