產(chǎn)品型號

4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶6mm雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、石英樣品架固定在滑動法蘭上，使樣品裝載更加容易。

2、樣品架上放置76mm的AlN基片，承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導(dǎo)率，可使樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性（±5℃）。

3、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準確性。

4、采用PID自動溫度控制，30段程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

5、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：爐體單相208V-240V，50Hz/60Hz，10KW

　　　　　高真空系統(tǒng)AC110V/220V任意切換，50Hz/60Hz，110W

2、爐體結(jié)構(gòu)：雙層莫來石鋼構(gòu)

3、石英管：外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø103mm，長380mm

4、樣品架：76mm

5、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Ø10mm，燈長300mm

6、加熱區(qū)：102mm×305mm，均勻性±5℃

7、熱偶：K型熱偶

8、溫度：溫度1100℃，額定溫度1000℃，在1000℃-1100℃下保溫時間不得超過600s

9、控溫精度：±0.5℃

10、升溫速度：RT-800℃內(nèi)50℃/s，800℃-1000℃內(nèi)10℃/s

11、高真空系統(tǒng)氣動時間：2min

12、真空度：6.3×10^-5mbar（在40min中）

13、真空法蘭：KF-D25，配有兩個高溫O型圈密封

14、流量計：16ml/min-160ml/min

15、前級泵流速：在10mbar狀態(tài)下3.8L/min，50Hz；4.4L/min，60Hz

產(chǎn)品規(guī)格

爐體：尺寸760mm×330mm×530mm，重量50kg

高真空系統(tǒng)：尺寸：600mm×600mm×700mm，重量18kg