• 這款PELCO^®凹坑儀是南灣科技D500i凹坑儀的改進(jìn)版，是一種精密的機(jī)電金相研磨儀器。它可不斷的監(jiān)視和控制凹陷參數(shù)，并且在達(dá)到預(yù)先設(shè)置的樣品厚度時(shí)準(zhǔn)確地終止研磨。這種機(jī)電一體化技術(shù)的實(shí)現(xiàn)了造坑過(guò)程的自動(dòng)化，使得造坑減薄的過(guò)程變得可重復(fù)而可靠。

  PELCO凹坑儀的精確度為±1μm，造坑面積大，機(jī)械損傷小?？蓪?duì)多種不同的材料進(jìn)行造坑減薄，如硅、鎵砷化合物、鍺、藍(lán)寶石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導(dǎo)體、鋁合金、陶瓷、碳和碳復(fù)合物。

  Z偏移量	精確度：	1 micron
  	范圍：	2000 microns
  Z終止精確度	工具1i /   3i：	<±1 micron
  	工具2i /   4i：	<±2 microns
  工具壓力	范圍：	1 -   200 grams
  		1 grams 步進(jìn)
  平衡	靈敏度：	1 grams
  	范圍：	50 grams
  工具速度	100   - 600 RPM
  樣品壓盤(pán)轉(zhuǎn)速	10 RPM
  工具傳動(dòng)軸	0.5微米TIR
  	工具1i /   3i：	<±1 micron TIR
  	工具2i /   4i：	<±2 microns TIR
  壓盤(pán)表面	<0.5 micron TIR
  外形尺寸	長(zhǎng)度：	68.6cm
  	寬度：	35.6cm
  	高度：	33cm
  	重量：	32kg
  電源	通用交流電：85~264   VAC，47~63 Hz

  產(chǎn)品編號(hào)	描述
  84000	PELCO ® TEM精密凹坑儀
  83050	PELCO ®視頻對(duì)齊工具
  83031	用于TEM的3mm樣品的標(biāo)準(zhǔn)工具組
  83032	可調(diào)節(jié)壓板組
  83001	藍(lán)寶石樣品座